الفروق بين المجاهر الليزرية متحد البؤر والمجاهر الإلكترونية الماسحة

الفروق بين المجاهر الليزرية متحد البؤر والمجاهر الإلكترونية الماسحة

يستخدم كل من المجهر متحد البؤر الليزري والمجهر الإلكتروني الماسح مصدر النقطة لمسح التصوير نقطة بنقطة، وضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق محرك المسح. يعمل مجهر الليزر متحد البؤر من خلال المسح بالليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد-. يقوم المجهر الإلكتروني الماسح بتعديل التصوير باستخدام إشارات فيزيائية مختلفة متحمسة بواسطة شعاع إلكتروني دقيق التركيز

مسح سطح العينة، ويمكن الحصول فقط على صور ثنائية الأبعاد-، وليس صور ثلاثية الأبعاد-.

1. دقة متطرفة مختلفة (تختلف مصادر الإشارة المضخمة)
متحد البؤر الليزر: دقة قصوى تبلغ 150 نانومتر
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر ~ 0.8 نانومتر

2. طرق قيادة المسح المختلفة
متحد البؤر الليزر: تتحكم مرآة الليزر في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة شعاع الإلكترون

3. التصوير المجسم المختلف
متحد البؤر الليزر: يتم تشغيل العينة بواسطة محرك متدرج دقيق نانو لتصوير طبقة بعد طبقة في اتجاه المحور -Z، ويقوم البرنامج بتجميع الصور المحددة لكل طبقة في صورة ثلاثية الأبعاد -واضحة
المجهر الإلكتروني الماسح: تحتوي الصور ذات الإطار الفردي على عمق مجال كبير وتنتمي إلى صور ثنائية الأبعاد

4. نطاق تطبيق مختلف
متحد البؤر الليزر: عدة مرات إلى عدة آلاف من المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات إلى عدة مئات الآلاف من المرات

5. بيئات العمل المختلفة
متحد البؤر الليزر: يمكنه اختبار العينات في البيئة الجوية
المجهر الإلكتروني الماسح: اختبار العينات في بيئة عالية الفراغ