الاختلافات بين المجاهر الإلكترونية والمجاهر المعدنية
مبادئ المجهر الإلكتروني الماسح
مجهر المسح الإلكتروني (SEM) ، والمختصر باسم SEM ، هو نظام معقد. إنه يكثف التكنولوجيا البصرية الإلكترونية ، وتكنولوجيا الفراغ ، والهيكل الميكانيكي الدقيق وتكنولوجيا التحكم في الكمبيوتر الحديثة. يقوم المجهر الإلكتروني الماسح بجمع الإلكترونات المنبعثة من مسدس الإلكترون في حزمة إلكترونية دقيقة من خلال عدسة كهرومغناطيسية متعددة المراحل تحت تأثير الجهد العالي المتسارع. مسح سطح العينة لتحفيز المعلومات المختلفة ، وتحليل سطح العينة عن طريق استقبال المعلومات وتضخيمها وعرضها. ينتج عن تفاعل الإلكترونات الساقطة مع العينة أنواع المعلومات الموضحة في الشكل 1. يتغير توزيع الكثافة ثنائي الأبعاد لهذه المعلومات مع خصائص سطح العينة (تشمل هذه الخصائص مورفولوجيا السطح والتركيب واتجاه البلورة والخصائص الكهرومغناطيسية ، وما إلى ذلك) ، ويتم تحويل المعلومات التي تم جمعها بواسطة أجهزة الكشف المختلفة بالتتابع والتناسب. يتم إرسال إشارة الفيديو إلى أنبوب الصورة الممسوحة ضوئيًا بشكل متزامن ويتم تعديل سطوعها للحصول على صورة مسح تعكس حالة سطح العينة. إذا تم رقمنة الإشارة التي يستقبلها الكاشف وتحويلها إلى إشارة رقمية ، فيمكن معالجتها وتخزينها بشكل أكبر بواسطة الكمبيوتر. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح بشكل أساسي لمراقبة العينات السميكة ذات الاختلاف الكبير في الارتفاع والخشونة ، لذلك يتم تمييز عمق تأثير المجال في التصميم ، ويستخدم بشكل عام لتحليل الكسور والأسطح الطبيعية التي لم تتم معالجتها بشكل مصطنع.
ميكروسكوب الكتروني و ميكروسكوب ميتالوجرافيك
1. مصادر الضوء المختلفة: تستخدم المجاهر المعدنية الضوء المرئي كمصدر للضوء ، وتستخدم المجاهر الإلكترونية الماسحة أشعة الإلكترون كمصدر للضوء للتصوير.
2. المبدأ مختلف: يستخدم المجهر المعدني مبدأ التصوير البصري الهندسي للتصوير ، ويستخدم المجهر الإلكتروني الماسح حزمًا إلكترونية عالية الطاقة لقصف سطح العينة لتحفيز إشارات فيزيائية مختلفة على سطح العينة ، ثم استخدام مختلف كاشفات الإشارة لاستقبال الإشارات المادية وتحويلها إلى معلومات صورية.
3. الدقة مختلفة: نظرًا لتداخل الضوء وانحرافه ، لا يمكن تحديد دقة المجهر المعدني إلا بـ 0. 2-0. 5um. نظرًا لأن المجهر الإلكتروني الماسح يستخدم الحزم الإلكترونية كمصدر للضوء ، يمكن أن تصل دقته إلى ما بين 1-3 نانومتر. لذلك ، تنتمي مراقبة أنسجة المجهر المعدني إلى تحليل المقياس الميكروني ، وتنتمي مراقبة الأنسجة لمجهر المسح الإلكتروني إلى تحليل المقياس النانوي.
4. يختلف عمق المجال: يكون عمق مجال مجهر ميتالوجرافي عام بين 2-3 um ، لذلك فإن له متطلبات عالية للغاية بشأن نعومة سطح العينة ، وبالتالي فإن عملية تحضير العينة نسبيًا معقد. يحتوي المجهر الإلكتروني الماسح على عمق مجال كبير ، ومجال رؤية كبير ، وتصوير ثلاثي الأبعاد ، والذي يمكن أن يراقب بشكل مباشر البنية الدقيقة للسطح غير المستوي لعينات مختلفة.
