مقدمة لمسح خصائص أداء المجهر الإلكتروني
هناك أنواع مختلفة من المجاهر الإلكترونية الماسحة ، وأنواع مختلفة من المجاهر الإلكترونية الماسحة بأداء مختلف. وفقًا لنوع مسدس الإلكترون ، يمكن تقسيمه إلى ثلاثة أنواع: مسدس إلكترون انبعاث ميداني ، مسدس سلكي التنغستن ، وسداسي اللانثانوم [5]. من بينها ، يمكن تقسيم المجهر الإلكتروني الماسح للانبعاثات الميدانية إلى المجهر الإلكتروني لمسح انبعاث المجال البارد والمجهر الإلكتروني لمسح انبعاث المجال الحراري وفقًا لأداء مصدر الضوء. يتطلب المجهر الإلكتروني لمسح انبعاث المجال البارد ظروف فراغ عالية ، تيار الحزمة غير مستقر ، الباعث له عمر خدمة قصير ، ويجب تنظيف طرف الإبرة بانتظام ، والذي يقتصر على مراقبة صورة واحدة ، ونطاق التطبيق هو محدود؛ في حين أن المجهر الإلكتروني لمسح انبعاث المجال الحراري ليس مستمرًا فحسب ، بل يمكن أن يعمل لفترة طويلة ، ويمكن أيضًا دمجه مع مجموعة متنوعة من الملحقات لتحقيق تحليل شامل. في مجال الجيولوجيا ، لا نحتاج فقط إلى مراقبة الشكل الأولي للعينة ، ولكن نحتاج أيضًا إلى تحليل الخصائص الأخرى للعينة بالاشتراك مع المحلل ، لذلك يتم استخدام المجهر الإلكتروني لمسح انبعاث المجال الحراري على نطاق واسع.
يعد مجهر المسح الإلكتروني (SEM) أداة عالية الدقة لتحليل مورفولوجيا المجال الجزئي عالي الدقة. تتميز بخصائص عمق المجال الكبير ، والدقة العالية ، والتصوير البديهي ، والتأثير المجسم القوي ، ونطاق التكبير الواسع ، ويمكن تدوير العينة المراد اختبارها وإمالتها في مساحة ثلاثية الأبعاد. بالإضافة إلى ذلك ، فإنه يتمتع بمزايا مجموعة متنوعة من العينات القابلة للقياس ، ولا يوجد أي ضرر أو تلوث للعينة الأصلية تقريبًا ، والاكتساب المتزامن للمورفولوجيا والهيكل والتكوين والمعلومات البلورية. في الوقت الحاضر ، تم استخدام المجهر الإلكتروني الماسح على نطاق واسع في البحث المجهري في مجالات علوم الحياة والفيزياء والكيمياء والعدالة وعلوم الأرض وعلوم المواد والإنتاج الصناعي. ، علم الترسبات ، الكيمياء الجيولوجية ، علم الأحجار الكريمة ، علم الأحياء الدقيقة ، علم الفلك ، جيولوجيا النفط والغاز ، الجيولوجيا الهندسية والجيولوجيا الإنشائية ، إلخ.
على الرغم من أن المجهر الإلكتروني الماسح هو نجم صاعد في عائلة المجهر ، نظرًا لمزاياه العديدة ، فإن سرعة التطوير سريعة جدًا.
1. دقة الجهاز عالية نسبيًا ، ويمكن ملاحظة تفاصيل حوالي 6 نانومتر على سطح العينة من خلال صورة الإلكترون الثانوية ، والتي يمكن تحسينها إلى 3 نانومتر باستخدام مسدس الإلكترون LaB6.
2 تكبير الجهاز له نطاق واسع ويمكن تعديله باستمرار. لذلك ، يمكن اختيار مجالات رؤية مختلفة للمراقبة وفقًا للاحتياجات ، وفي الوقت نفسه ، يمكن الحصول على صور واضحة ذات سطوع عالٍ ، والتي يصعب تحقيقها باستخدام المجاهر الإلكترونية ذات الإرسال العام ، تحت التكبير العالي.
3 مراقبة العينة لها عمق مجال كبير ومجال رؤية كبير والصورة مليئة بالأبعاد الثلاثية. يمكنه مراقبة السطح الخشن بشكل مباشر مع التموجات الكبيرة وصورة الكسر المعدني غير المتكافئ للعينة ، مما يجعل الناس يشعرون وكأنهم في العالم المجهري.
4. تحضير العينة بسيط. طالما تمت معالجة عينة الكتلة أو المسحوق بشكل طفيف أو لم تتم معالجتها ، يمكن وضعها مباشرة في المجهر الإلكتروني الماسح للمراقبة ، لذلك فهي أقرب إلى الحالة الطبيعية للمادة.
5 يمكنه التحكم بشكل فعال في جودة الصورة وتحسينها من خلال الأساليب الإلكترونية ، مثل الصيانة التلقائية للسطوع والتباين ، وتصحيح زاوية إمالة العينة ، وتدوير الصورة ، أو تحسين تحمل تباين الصورة من خلال تعديل Y ، وسطوع وظلام الأجزاء المختلفة من الصورة معتدل. باستخدام جهاز تكبير مزدوج أو محدد صورة ، يمكن ملاحظة الصور ذات التكبيرات المختلفة على شاشة الفلورسنت في نفس الوقت.
6 لتحليل شامل. قم بتثبيت مطياف الأشعة السينية المشتت بطول الموجة (WDX) أو مطياف الأشعة السينية المشتت للطاقة (EDX) بحيث يكون له وظيفة مسبار الإلكترون ويمكنه أيضًا اكتشاف الإلكترونات المنعكسة ، والأشعة السينية ، والتألق المهبطي ، والإلكترونات المرسلة ، وإلكترونيات أوجيه يُظهر توسيع نطاق تطبيق الفحص المجهري الإلكتروني ليشمل طرق تحليل مجهرية ومتناهية الصغر مدى تعدد استخدامات الفحص المجهري الإلكتروني. بالإضافة إلى ذلك ، يمكنه أيضًا تحليل المنطقة الدقيقة الاختيارية للعينة أثناء مراقبة الصورة الطبوغرافية ؛ قم بتثبيت ملحق حامل عينة أشباه الموصلات ، ولاحظ مباشرة تقاطع PN والعيوب المجهرية في الترانزستور أو الدائرة المتكاملة من خلال مكبر صورة القوة الدافعة الكهربائية. نظرًا لأن العديد من المجسات الإلكترونية بالمجهر الإلكتروني قد أدركت التحكم الآلي وشبه التلقائي في الكمبيوتر الإلكتروني ، فقد تم تحسين سرعة التحليل الكمي بشكل كبير.
