مزايا المسح المجهري الإلكتروني

مزايا المسح المجهري الإلكتروني

1. التكبير
نظرًا لأن حجم شاشة الفلورسنت الخاصة بالمجهر الإلكتروني الماسح ثابت ، يتم تحقيق تغيير التكبير عن طريق تغيير سعة المسح لشعاع الإلكترون على سطح العينة.
إذا تم تقليل تيار ملف المسح ، فسيتم تقليل نطاق مسح شعاع الإلكترون على العينة وزيادة التكبير. هذا الضبط مناسب جدًا ، ويمكن تعديله بشكل مستمر من 20 مرة إلى حوالي 200 مرة ، 000 مرة.

2. القرار
القرار هو مؤشر الأداء الرئيسي لـ SEM.
يتم تحديد الدقة من خلال قطر شعاع الإلكترون الساقط ونوع إشارة التعديل:
كلما كان قطر حزمة الإلكترون أصغر ، زادت الدقة.
الإشارات الفيزيائية المختلفة المستخدمة في التصوير لها دقة مختلفة.
على سبيل المثال ، تحتوي إلكترونات SE و BE على نطاقات انبعاث مختلفة على سطح العينة ، ودقتها مختلفة. بشكل عام ، تبلغ دقة SE حوالي 5-10 نانومتر ، ودقة BE حوالي 50-200 نانومتر.

3. عمق الميدان
يشير إلى مجموعة من الإمكانات التي يمكن للعدسة التركيز عليها وصورها في نفس الوقت على أجزاء مختلفة من العينة مع وجود تفاوت.
العدسة النهائية للمجهر الإلكتروني الماسح تعتمد زاوية فتحة صغيرة وبُعد بؤري طويل ، لذلك يمكن الحصول على عمق مجال كبير ، 100-500 أكبر من المجهر الضوئي العام وأكبر بعشر مرات من ذلك من مجهر إلكتروني ناقل.
العمق الكبير للمجال ، والشعور القوي ثلاثي الأبعاد ، والشكل الواقعي هي السمات البارزة لـ SEM.
عينات SEM مقسمة إلى فئتين:

1 هي عينة ذات موصلية جيدة ، والتي يمكن أن تحافظ بشكل عام على شكلها الأصلي ويمكن ملاحظتها في المجهر الإلكتروني بدون تنظيف أو بقليل من التنظيف ؛

2. العينات غير الموصلة ، أو العينات التي تفقد الماء ، والغاز الطبيعي ، وتتقلص وتشوه في الفراغ ، تحتاج إلى المعالجة المناسبة قبل أن يتم ملاحظتها.