أنواع وميزات مسح المجاهر الإلكترونية
هناك أنواع مختلفة من المجاهر الإلكترونية المسح ، وأنواع مختلفة من المجاهر الإلكترونية المسح لها اختلافات في الأداء. وفقًا لنوع بندقية الإلكترون ، يمكن تقسيمه إلى ثلاثة أنواع: مسدس الإلكترون في الحقل ، ومسدس سلك التنغستن ، و hexaboride اللانثانوم. من بينها ، يمكن تقسيم المجهر الإلكتروني للانبعاثات الحقل إلى المجهر الإلكتروني للانبعاثات الباردة ، وفحص المجهر الإلكتروني للانبعاثات الحقل الساخن ، استنادًا إلى أداء مصدر الضوء. يتطلب المجهر الإلكتروني للانبعاثات الإلكترونية المسح الضوئي في المجال البارد ظروفًا فراغًا عالية ، وتيار شعاع غير مستقر ، وعمر باعث قصير ، ويتطلب تنظيفًا منتظمًا لطرف الإبرة ، والذي يقتصر على مراقبة الصورة الواحدة وله نطاق تطبيق محدود ؛ ليس لمجهر إلكترون إلكترون المسح الضوئي للانبعاث الحراري وقت عمل مستمر طويل ، ولكن يمكن أيضًا دمجه مع إكسسوارات مختلفة لتحقيق تحليل شامل. في مجال الجيولوجيا ، لا نحتاج فقط إلى مراقبة التشكل الأولي للعينات ، ولكن أيضًا بحاجة إلى تحليل الخصائص الأخرى للعينات بالاشتراك مع المحللين ، وبالتالي فإن تطبيق المجهر الإلكتروني للانبعاث الحراري للانبعاثات الحرارية يكون أكثر شمولاً.
على الرغم من أن فحص المجهر الإلكتروني هو قادم جديد في عائلة المجهر ، إلا أن سرعة تطويرها سريعة جدًا بسبب العديد من مزاياها.
تحتوي الأداة على دقة عالية ويمكنها ملاحظة تفاصيل حوالي 6nm على سطح العينة من خلال التصوير الإلكترون الثانوي. باستخدام مسدس الإلكترون LAB6 ، يمكن تحسينه إلى 3nm.
تحتوي الأداة على مجموعة واسعة من تغييرات التكبير ويمكن تعديلها بشكل مستمر. لذلك ، يمكن اختيار أحجام مختلفة من مجالات الرؤية للمراقبة حسب الحاجة ، ويمكن أيضًا الحصول على صور واضحة ذات سطوع عالٍ يصعب تحقيقها باستخدام المجهر الإلكتروني للإرسال العام عند التكبير العالي.
عمق مجال ومجال الرؤية للعينة كبيرة ، والصورة غنية بالمعنى ثلاثي الأبعاد. يمكن أن يلاحظ بشكل مباشر الأسطح الخشنة ذات التموجات الكبيرة وصور الكسر المعدني غير المتكافئ للعينة ، مما يمنح الناس شعورًا بالتواجد في العالم المجهري.
إعداد العينات الأربعة بسيطة. طالما أن عينات الكتلة أو المسحوق يتم معالجتها قليلاً أو عدم علاجها ، يمكن ملاحظتها مباشرة تحت المجهر الإلكتروني المسح ، وهو أقرب إلى الحالة الطبيعية للمادة.
5. يمكن التحكم في جودة الصورة بشكل فعال وتحسينها من خلال الطرق الإلكترونية ، مثل الصيانة التلقائية للسطوع والتباين ، وتصحيح زاوية إمالة العينة ، أو دوران الصورة ، أو تحسين تحمل تباين الصورة من خلال تعديل Y ، وكذلك السطوع المعتدل والظلام في أجزاء مختلفة من الصورة. باستخدام جهاز تكبير مزدوج أو محدد للصور ، يمكن ملاحظة الصور ذات الإثبات المختلفة في وقت واحد على شاشة الفلورسنت.
6 يمكن أن يخضع لتحليل شامل. قم بتركيب مقياس طيف الأشعة السينية المشتتة الطول الموجي (WDX) أو مطياف الأشعة السينية المشتتة للطاقة (EDX) لتمكينه من العمل كمسبار إلكترون واكتشاف الإلكترونات المنعكسة ، والأشعة السينية ، والكاثودولينج ، والإلكترونات المنقولة ، والإلكترونات Auger ، وما إلى ذلك. أظهر توسيع تطبيق مسح المجهر الإلكتروني إلى مختلف طرق تحليل المساحة المجهرية والميكرو التوصيف متعدد الوظائف لفحص المجهر الإلكتروني. بالإضافة إلى ذلك ، من الممكن أيضًا تحليل المناطق الصغيرة المحددة من العينة أثناء مراقبة صورة التشكل ؛ من خلال تثبيت مرفق حامل عينة أشباه الموصلات ، يمكن ملاحظة تقاطعات PN والعيوب الصغيرة في الترانزستورات أو الدوائر المتكاملة مباشرة من خلال مضخم صورة قوة كهربائي. نظرًا لتنفيذ التحكم التلقائي وشبه التلقائي في الكمبيوتر الإلكتروني للعديد من تحقيقات الإلكترون المجهر الإلكترون المسح ، فقد تم تحسين سرعة التحليل الكمي.
