1. التكبير
على عكس المجاهر الضوئية العادية ، في SEM ، يتم التحكم في التكبير من خلال التحكم في حجم منطقة المسح 3-. إذا كان التكبير أعلى مطلوبًا ، فما عليك سوى مسح مساحة أصغر. يتم الحصول على التكبير بقسمة منطقة الشاشة / الصورة على منطقة المسح الضوئي. لذلك ، في SEM ، لا علاقة للعدسة بالتكبير.
2. عمق المجال
في SEM ، يمكن أن تكون نقاط العينة الموجودة في منطقة طبقة صغيرة أعلى وأسفل المستوى البؤري مركزة جيدًا وتصويرها. يُطلق على سماكة هذه الطبقة الصغيرة عمق المجال وعادة ما يكون سمكها بضعة نانومترات ، لذلك يمكن استخدام SEM للتصوير ثلاثي الأبعاد لعينات نانوية.
3. حجم العمل
لا يتفاعل شعاع الإلكترون مع الذرات الموجودة على سطح العينة فحسب ، بل يتفاعل أيضًا مع الذرات الموجودة في العينة ضمن نطاق سمك معين ، لذلك يوجد "حجم" تفاعل. يختلف سمك حجم الحركة اعتمادًا على الإشارة:
Ou Ge Electronics: 0. 5 ~ 2nm.
الإلكترونات الثانوية: 5 أ ، للموصلات ، λ =1 نانومتر ؛ للعوازل ، λ =10 نانومتر.
الإلكترونات المبعثرة: 10 أضعاف الإلكترونات الثانوية.
الأشعة السينية المميزة: مقياس ميكرون.
تسلسل الأشعة السينية: أكبر قليلاً من الأشعة السينية المميزة ، وأيضًا على مقياس الميكرومتر.
4. مسافة العمل
تشير مسافة العمل إلى المسافة العمودية من الهدف إلى أعلى نقطة في العينة.
في حالة زيادة مسافة العمل ، يمكن الحصول على عمق مجال أكبر بشرط أن تظل الظروف الأخرى دون تغيير.
إذا تم تقليل مسافة العمل ، يمكن الحصول على دقة أعلى مع ثبات باقى المتغيرات.
مسافة العمل شائعة الاستخدام بين 5 مم و 10 مم.
5. التصوير
يمكن استخدام الإلكترونات الثانوية والإلكترونات المبعثرة للخلف للتصوير ، وهذه الأخيرة ليست جيدة مثل الأولى ، لذلك تُستخدم الإلكترونات الثانوية عادةً.
6. تحليل السطح
ترتبط عملية توليد إلكترونات Og والأشعة السينية المميزة والإلكترونات المتناثرة جميعها بالخصائص الذرية للعينات ، بحيث يمكن استخدامها لتحليل التركيب. ومع ذلك ، نظرًا لأن شعاع الإلكترون لا يمكنه إلا اختراق طبقة ضحلة جدًا من سطح العينة (انظر حجم الحركة) ، فلا يمكن استخدامها إلا لتحليل السطح.
تحليل الأشعة السينية المميز هو تحليل السطح الأكثر استخدامًا ، ويستخدم نوعان من أجهزة الكشف: محلل طيف الطاقة ومحلل الطيف. الأول سريع ولكنه غير دقيق ، والأخير دقيق للغاية ويمكنه اكتشاف وجود العناصر النزرة ولكنه يستغرق وقتًا طويلاً.
