الفرق بين المجهر الإلكتروني الماسح والمجهر البؤري الليزري

الفرق بين المجهر الإلكتروني الماسح والمجهر البؤري الليزري

كل من مجهر الليزر متحد البؤر والمجهر الإلكتروني الماسح عبارة عن تصوير مسح نقطة بنقطة، ويتم ضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق قيادة المسح. يعمل المجهر متحد البؤر بالليزر عن طريق المسح بالليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح إشارات فيزيائية مختلفة متحمسة بواسطة شعاع الإلكترون المركز بدقة لمسح سطح العينة لتعديل التصوير. يمكن الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط، لكن لا يمكن الحصول على صور ثلاثية الأبعاد.

1. دقة الحد مختلفة (مصدر الإشارة المضخم مختلف)
متحد البؤر الليزر: الدقة القصوى 150 نانومتر
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر~0.8 نانومتر

2. طرق مختلفة لمحرك المسح
متحد البؤر الليزر: تتحكم مرآة الليزر الدوارة في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة المسح لشعاع الإلكترون

3. تصوير مجسم مختلف
متحد البؤر الليزر: يتم تصوير العينة طبقة تلو الأخرى في اتجاه المحور Z من خلال محرك متدرج بدقة النانومتر، ويقوم البرنامج بتجميع صور كل طبقة في صورة واضحة ثلاثية الأبعاد
المجهر الإلكتروني الماسح: صورة ذات إطار واحد لها عمق مجال كبير وهي صورة ثنائية الأبعاد

4. نطاق التطبيق مختلف
متحد البؤر الليزر: عدة مرات ~ آلاف المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات ~ مئات الآلاف من المرات

5. بيئة العمل مختلفة
الليزر متحد البؤر: يمكنه اختبار العينات في البيئة الجوية
المسح المجهري الإلكتروني: اختبار العينات في بيئة عالية الفراغ