الفرق بين الفحص المجهري متحد البؤر بالليزر والمجهر الإلكتروني الماسح
يعتبر كل من المجهر متحد البؤر الليزري والمجهر الإلكتروني الماسح تصويرًا بمسح مصدر نقطي، والذي يضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق المسح الضوئي. يعمل الفحص المجهري متحد البؤر بالليزر من خلال المسح بالليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح إشارات فيزيائية مختلفة متحمسة بواسطة شعاع إلكتروني مركّز بدقة عند مسح سطح العينة لتعديل التصوير. ويمكنه الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط، وليس صور ثلاثية الأبعاد.
1. دقة حدود مختلفة (مصادر إشارة مضخمة مختلفة)
متحد البؤر الليزر: الدقة النهائية 150 نانومتر
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر~0.8 نانومتر
2. طرق قيادة المسح المختلفة
متحد البؤر الليزر: تتحكم المرآة الدوارة بالليزر في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة المسح لشعاع الإلكترون
3. التصوير المجسم مختلف
متحد البؤر الليزر: يتم تشغيل العينة بواسطة محرك متدرج دقيق نانو لتصوير طبقة تلو الأخرى في اتجاه المحور Z، ويقوم البرنامج بتجميع الصور المحددة لكل طبقة في صور مجسمة واضحة ثلاثية الأبعاد
المجهر الإلكتروني الماسح: الصورة ذات الإطار الواحد لها عمق مجال كبير وتنتمي إلى الصورة ثنائية الأبعاد
4. نطاقات تطبيق مختلفة
متحد البؤر الليزر: عدة إلى عدة آلاف من المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات إلى عدة مئات الآلاف من المرات
5. بيئات العمل المختلفة
متحد البؤر الليزر: قادر على اختبار العينات في البيئات الجوية
المسح المجهري الإلكتروني: اختبار العينات في بيئة عالية الفراغ
