الفرق بين المجهر المتحد البؤر بالليزر والمجهر الإلكتروني الماسح
كل من مجهر الليزر متحد البؤر والمجهر الإلكتروني الماسح هما تصوير مسح ضوئي نقطة بنقطة ، ويتم ضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق قيادة المسح. يعمل الفحص المجهري بالليزر متحد البؤر عن طريق المسح بالليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح إشارات مادية مختلفة تثيرها حزمة الإلكترون المركزة بدقة لمسح سطح العينة لتعديل التصوير. يمكن الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط ، ولكن لا يمكن الحصول على صور ثلاثية الأبعاد.
1. الدقة القصوى مختلفة (مصدر الإشارة المضخم مختلف)
متحد البؤر بالليزر: الدقة القصوى 150 نانومتر
مجهر المسح الإلكتروني: 2 0 نانومتر ~ 0.8 نانومتر
2. طرق مختلفة لمحرك المسح الضوئي
متحد البؤر بالليزر: تتحكم المرآة الدوارة بالليزر في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
مجهر المسح الإلكتروني: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة المسح لشعاع الإلكترون
3. التصوير المجسم المختلف
متحد البؤر بالليزر: يتم تصوير العينة طبقة تلو الأخرى في اتجاه المحور Z من خلال محرك متدرج بدقة نانومتر ، ويقوم البرنامج بتوليف صور كل طبقة في صورة واضحة ثلاثية الأبعاد
مجهر المسح الإلكتروني: صورة ذات إطار واحد لها عمق مجال كبير وصورة ثنائية الأبعاد
4. نطاق التطبيق مختلف
متحد البؤر بالليزر: عدة مرات ~ آلاف المرات
مجهر المسح الإلكتروني: عدة مرات ~ مئات الآلاف من المرات
5. بيئة العمل مختلفة
الليزر متحد البؤر: يمكنه اختبار العينات في بيئة الغلاف الجوي
الفحص المجهري الإلكتروني: اختبار العينات في بيئة فراغ عالية
