الفرق بين المجهر الليزري متحد البؤر والمجهر الإلكتروني الماسح
الفحص المجهري متحد البؤر بالليزر والمجهر الإلكتروني الماسح يقومان بالمسح الضوئي والصورة نقطة بمصدر نقطة، ويتم ضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق محرك المسح. يعمل الفحص المجهري متحد البؤر بالليزر عن طريق المسح بالليزر للحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح إشارات فيزيائية مختلفة متحمسة لحزم الإلكترون المركزة بدقة عند مسح سطح العينة لتعديل التصوير. يمكنه الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط، وليس صور ثلاثية الأبعاد.
1. دقة حدود مختلفة (مصادر إشارة مضخمة مختلفة)
متحد البؤر الليزر: الدقة النهائية 150 نانومتر
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر~0.8 نانومتر
2. طرق تشغيل المسح المختلفة
متحد البؤر الليزر: تتحكم المرآة الدوارة بالليزر في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة المسح لشعاع الإلكترون
3. التصوير المجسم المختلف
متحد البؤر الليزر: يتم استخدام محرك متدرج بدقة نانومتر لدفع العينة إلى صورة طبقة تلو الأخرى في اتجاه المحور Z. يقوم البرنامج بدمج الصور المحددة لكل طبقة في صورة واضحة ثلاثية الأبعاد.
المجهر الإلكتروني الماسح: صورة ذات إطار واحد لها عمق مجال كبير وهي صورة ثنائية الأبعاد
4. نطاقات التطبيق المختلفة
متحد البؤر الليزر: عدة مرات ~ آلاف المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات إلى مئات الآلاف من المرات
5. بيئات العمل المختلفة
متحد البؤر الليزر: يمكنه اختبار العينات في البيئة الجوية
المسح المجهري الإلكتروني: اختبار العينات في بيئات عالية الفراغ
