تطبيقات المجاهر متحد البؤر في صناعة أشباه الموصلات
في عملية إنتاج أشباه الموصلات على نطاق واسع-، من الضروري وضع شرائح الدوائر المتكاملة على الرقاقة، ثم تقسيمها إلى وحدات مختلفة، وفي النهاية تغليفها ولحامها. ولذلك، فإن التحكم الدقيق والقياس لحجم أخدود قطع الرقاقة هو رابط حاسم في عملية الإنتاج.
المجهر متحد البؤر من سلسلة VT6000 عبارة عن معدات فحص مجهرية أطلقتها شركة Zhongtu Instrument، وتستخدم على نطاق واسع في عمليات تصنيع وتغليف أشباه الموصلات. يمكنه إجراء مسح غير تلامسي- وإعادة بناء مورفولوجيا ثلاثية الأبعاد لميزات السطح بأشكال معقدة وأخاديد قطع ليزر شديدة الانحدار.
يتميز المجهر متحد البؤر من سلسلة VT6000 بدقة بصرية ممتازة ويمكنه ملاحظة خصائص سطح الرقاقة بالتفصيل من خلال نظام تصوير واضح، مثل مراقبة ما إذا كانت هناك عيوب مثل كسر الحافة والخدوش على سطح الرقاقة. يمكن للبرج الكهربائي التبديل تلقائيًا بين مستويات التكبير الموضوعية المختلفة، ويلتقط البرنامج تلقائيًا حواف الميزات لقياس سريع ثنائي الأبعاد-، وبالتالي اكتشاف سطح الرقاقة والتحكم في جودتها بشكل أكثر فعالية.
في عملية قطع الرقاقات بالليزر، يلزم تحديد موضع دقيق لضمان إمكانية قطع الأخاديد على طول الكفاف الصحيح على الرقاقة. عادة ما يتم قياس جودة تجزئة الرقاقة من خلال عمق وعرض أخاديد القطع. يحتوي المجهر متحد البؤر من سلسلة VT6000، الذي يعتمد على تقنية متحد البؤر ومجهز بوحدات مسح عالية السرعة-، على برنامج تحليل احترافي مزود بوظائف قياس تلقائية ومتعددة المناطق. ويمكنه إعادة بناء محيط -الأبعاد الثلاثة لأخدود الليزر للرقاقة التي تم اختبارها بسرعة وإجراء تحليل متعدد الملفات الشخصية للحصول على معلومات عمق القناة وعرض المقطع العرضي -.
