تستخدم الأدوات المستخدمة في الفحص المجهري ثنائي الحزمة بشكل أساسي لقياس خشونة السطح. يمكن استخدامه أيضًا لقياس سمك التراكبات الشفافة والشفافة ، خاصة الأفلام المؤكسدة على الألومنيوم.
تعمل الأداة عن طريق إضاءة شعاع بزاوية 45 درجة على سطح التراكب ، وينعكس جزء من الحزمة مرة أخرى من سطح التراكب. جزء آخر يخترق الغطاء وينعكس مرة أخرى من واجهة غطاء الركيزة. يمكن رؤية صورتين منفصلتين من العدسة المجهرية ، والمسافة تتناسب مع سمك التراكب ، ويمكن قياس المسافة عن طريق ضبط مقبض التحكم في المقياس.
لا يمكن استخدام هذه الطريقة إلا عندما ينعكس الضوء الكافي مرة أخرى على واجهة طبقة الطلاء للحصول على صورة واضحة في المجهر.
بالنسبة للتراكبات الشفافة أو الشفافة ، مثل الأفلام المؤكسدة ، فإن الطريقة غير مدمرة. من أجل قياس سمك طبقة الغطاء المعتمة ، يجب إزالة قطعة صغيرة من طبقة الغلاف ، بحيث يتم تشكيل خطوة يمكن أن تنكسر شعاع الضوء بين سطح طبقة الغطاء والركيزة ، وبالتالي فإن القيمة المطلقة يمكن قياس سمك طبقة الغلاف. في هذه الحالة ، تعتبر الطريقة طريقة اختبار مدمرة.
عادة ما يكون خطأ القياس في الفحص المجهري ثنائي الحزمة أقل من 10 بالمائة.
