العديد من ميزات الفحص المجهري البصري متحد البؤر
تباين عالي، دقة عالية
في المجهر الضوئي التقليدي، يحدث التداخل بسبب الضوء المنعكس من الجزء خارج نطاق التركيز، والذي يتداخل مع جزء التصوير في نقطة التركيز، مما يؤدي إلى تقليل تباين الصورة. في المقابل، في النظام البصري متحد البؤر، يتم التخلص تقريبًا من الضوء المتناثر خارج النقطة البؤرية وداخل العدسة الشيئية، مما يؤدي إلى الحصول على صور ذات تباين عالٍ جدًا. بالإضافة إلى ذلك، تم تحسين قوة التحليل للمجهر لأن الضوء يمر عبر العدسة الشيئية مرتين، مما يؤدي إلى زيادة وضوح الصورة النقطية.
وظيفة التعريب البصري
في النظام البصري متحد البؤر، يتم حماية الضوء المنعكس بواسطة الفتحة الدقيقة عند نقطة أخرى غير النقطة البؤرية. لذلك، عند مراقبة عينة ثلاثية الأبعاد، تتشكل الصورة كما لو كانت العينة قد تم تقطيعها مع النقطة البؤرية، ويسمى هذا التأثير بالتوضع البصري، وهو أحد ميزات النظام البصري متحد البؤر.
وظيفة ذاكرة تحويل التركيز
يتم حجب الضوء المنعكس خارج النقطة البؤرية بواسطة الميكروفيا، بحيث يمكن اعتبار جميع النقاط الموجودة في الصورة التي تم إنشاؤها بواسطة النظام البصري متحد البؤر متطابقة مع النقطة البؤرية. ومن خلال تحريك عينة الاستريو في اتجاه المحور Z (المحور البصري) وتجميع الصور في الذاكرة، يتم الحصول على صورة تتطابق فيها جميع نقاط العينة مع نقطة التركيز. وتسمى وظيفة تعميق عمق التركيز إلى أجل غير مسمى بهذه الطريقة بوظيفة الذاكرة المتحركة.
وظيفة قياس شكل السطح
ومن خلال إضافة دائرة تسجيل ارتفاع السطح إلى وظيفة إزاحة التركيز البؤري، يمكن قياس شكل سطح العينة بدون تلامس. باستخدام هذه الوظيفة، من الممكن تسجيل إحداثيات المحور Z لقيمة النصوع القصوى لكل بكسل والحصول على معلومات حول شكل سطح العينة بناءً على هذه المعلومات.
وظيفة قياس الأبعاد الدقيقة عالية الدقة
يتم استخدام مستشعر تصوير CCD 1D في وحدة استقبال الضوء، مما يتيح قياسًا عالي الدقة دون التأثر بإمالة المسح الضوئي. بالإضافة إلى ذلك، تتيح وظيفة ذاكرة إزاحة التركيز البؤري مع عمق التركيز البؤري القابل للتعديل (التعميق) التخلص من أخطاء القياس الناتجة عن إزاحة التركيز البؤري.
