طريقة عمل المجهر الإلكتروني النفقي الماسح
على الرغم من أن المجاهر الإلكترونية النفقية الماسحة لها تكوينات مختلفة، إلا أنها تتكون جميعًا من الأجزاء الرئيسية الثلاثة التالية: نظام ميكانيكي (مرآة) يدفع المسبار في حركة ثلاثية الأبعاد بالنسبة لسطح العينة الموصلة، ونظام إلكتروني يتحكم ويتحكم في يراقب المسافة بين المسبار والعينة، ونظام العرض الذي يحول البيانات المقاسة إلى صورة. لديها وضعين للتشغيل: الوضع الحالي الثابت ووضع الارتفاع الثابت.
الوضع الحالي المستمر
يتم التحكم في تيار النفق باستخدام مجموعة من دوائر التغذية الراجعة الإلكترونية لإبقائه ثابتًا. ويتحكم نظام حاسوبي في مسح طرف الإبرة على سطح العينة، أي أن الطرف يتحرك في بعدين على طول الاتجاهين x وy. نظرًا لأنه يتم التحكم في تيار النفق ليكون ثابتًا، فإن الارتفاع المحلي بين الطرف وسطح العينة يظل ثابتًا أيضًا، وبالتالي سيقوم الطرف بنفس الحركة المتموجة مع ارتفاع سطح العينة، وسوف تنعكس معلومات الارتفاع نتيجة ل. وهذا يعني أن المجهر الإلكتروني النفقي الماسح يحصل على معلومات ثلاثية الأبعاد حول سطح العينة. يتم استخدام وضع التشغيل هذا على نطاق واسع بسبب معلومات الصورة الشاملة وجودة الصورة المجهرية العالية.
وضع الارتفاع المستمر
في عملية مسح العينة للحفاظ على الارتفاع المطلق لطرف الإبرة ثابتا؛ لذلك سيتغير طرف الإبرة وسطح العينة للمسافة المحلية، كما تغير حجم تيار النفق الذي قمت بتغييره أيضًا؛ من خلال الكمبيوتر لتسجيل التغييرات في تيار النفق، وتحويلها إلى إشارات صورة معروضة، أي الحصول على صورة المجهر الإلكتروني النفقي الماسح. طريقة العمل هذه تنطبق فقط على سطح العينة المسطح نسبيًا، وتكوين مكون واحد.
