المجهر الإلكتروني الماسح والمجهر الميتالوغرافي "يسيران معًا ولكن بطرق مختلفة"
تعد المجاهر الإلكترونية الماسحة والمجاهر المعدنية من الأدوات البصرية. يحب العديد من الأشخاص استخدام المجهر الميتالوغرافي كمجهر إلكتروني ماسح، ولكن هناك اختلافات كبيرة بينهما. الاستخدام الخاطئ لن يؤدي إلا إلى زيادة العبء على المعدات وتسريع استهلاك المجهر الميتالوغرافي.
1. أولاً وقبل كل شيء، المبادئ مختلفة: يستخدم المجهر الميتالوغرافي مبدأ التصوير البصري الهندسي لإجراء التصوير، بينما يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح إشارات فيزيائية مختلفة تثيرها حزم إلكترونية مركزة بدقة عند مسح سطح العينة لتعديل التصوير. يتم قصف سطح العينة بحزم إلكترونية عالية الطاقة، ويتم إثارة إشارات فيزيائية مختلفة على سطح العينة. تُستخدم أجهزة كشف الإشارة المختلفة لاستقبال الإشارات المادية ثم تحويلها إلى معلومات صورة.
2. ثانياً، تختلف مصادر الضوء: يستخدم المجهر الميتالوغرافي الضوء المرئي كمصدر للضوء للتصوير، بينما يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح الأشعة الإلكترونية كمصدر للضوء للتصوير.
3. دقة مختلفة: تخضع المجاهر المعدنية للتداخل وحيود الضوء المرئي، ولا يمكن أن يقتصر القرار إلا على 0.2-0.5um. نظرًا لأن المجهر الإلكتروني الماسح يستخدم أشعة الإلكترون كمصدر للضوء، فإن دقة وضوحه يمكن أن تصل إلى 1-3 نانومتر. ولذلك، فإن مراقبة الأنسجة تحت المجهر الميتالوغرافي هي تحليل على مستوى ميكرون، في حين أن مراقبة الأنسجة تحت المجهر الإلكتروني الماسح هي تحليل على مستوى النانو. معلومات العينة التي تم الحصول عليها بواسطة المجهر الإلكتروني الماسح أكثر ثراءً. .
4. أعماق مختلفة للمجال: بشكل عام، يتراوح عمق مجال المجهر الميتالوجرافي بين 2-3um، لذلك فهو يتطلب متطلبات عالية للغاية لنعومة سطح العينة، وبالتالي فإن عملية تحضير العينة معقدة نسبيًا. يبلغ عمق مجال المجهر الإلكتروني الماسح مئات المرات عمق مجال المجهر المعدني. ومع ذلك، نظرًا للقيود المفروضة على مبدأ التصوير، يجب أن يكون سطح العينة موصلًا، لذلك يجب أن يكون سطح العينة موصلًا.
بالمقارنة مع المجاهر المعدنية، تتمتع المجاهر الإلكترونية الماسحة بنطاق تكبير واسع قابل للتعديل، ودقة صورة عالية، وعمق مجال كبير، وصور غنية ثلاثية الأبعاد، ويمكنها الحصول على معلومات عينة أكثر ثراءً. تطبيقاتها أعمق وأكثر شمولاً من المجاهر المعدنية.
