مبادئ وطرق القياس الميكروي البؤري
المجهر متحد البؤر هو اختصار لمجهر المسح بالليزر متحد البؤر LCSM، والذي يتم تصويره مجهريا باستخدام تقنيات التصوير الملتقطة ثلاثية الأبعاد بشكل أساسي، مما يمنحه دقة صورة ثلاثية الأبعاد عالية. ويتم تحقيق ذلك من خلال إنشاء صور مجهرية.
مبادئ التصوير المجهري متحد البؤر
يتم وضع جهاز المجهر متحد البؤر على السطح المرافق للمستوى البؤري للكائن المراد قياسه بفتحتين صغيرتين، توضع إحداهما أمام مصدر الضوء والأخرى أمام الكاشف، وتكون الصورة التي يتم الحصول عليها عبارة عن ضوء من أحدهما يتم التقاط المستوى البؤري من خلال التركيز من خلال كاميرا رقمية ذات ثقب، ومن خلال تسلسل صور المستويات البؤرية المختلفة التي تم تجميعها، يتم تجميع صورة ثلاثية الأبعاد كاملة باستخدام البرنامج.
يقدم نظام المجهر متحد البؤر صورًا مكبرة بتفاصيل أعلى من المجاهر الضوئية التقليدية. عند نفس التكبير الموضوعي، يقدم المجهر متحد البؤر صورًا ذات تفاصيل مورفولوجية أكثر وضوحًا وأدق ودقة جانبية أعلى. كأداة للكشف عن النانو الصغير، يختلف الفحص المجهري متحد البؤر عن قياس تداخل الضوء الأبيض في نواحٍ عديدة. إذا استخدمت كلمة لوصفها، فإن قياس تداخل الضوء الأبيض هو "أدبي"، في حين أن الفحص المجهري متحد البؤر هو "عسكري". الضوء الأبيض جيد في الكشف عن السطح فائق النعومة دون النانومتر، والسعي وراء دقة قيمة الكشف؛ في حين أن البؤر جيد في الكشف عن الكفاف الخام بالميكرو نانومتر، على الرغم من أنه في الكشف عن الدقة أقل قليلاً، إلا أنه يمكن أن يوفر صورًا ملونة حقيقية الألوان لسهولة المراقبة.
المجهر متحد البؤر إلى التكنولوجيا متحد البؤر كمبدأ، جنبا إلى جنب مع وحدة المسح الضوئي Z الدقيقة، وخوارزميات النمذجة ثلاثية الأبعاد، وما إلى ذلك، يمكن قياس جميع أنواع بما في ذلك من الانعكاس الناعم إلى الخشن، والانعكاس المنخفض إلى الانعكاس العالي لسطح الكائن، من النانو إلى ميكرون مستوى خشونة قطعة العمل، والتسطيح، والخطوط الهندسية الدقيقة، والانحناء وغيرها من المعالم لمجموعة متنوعة من المنتجات والمكونات والمواد، والسطح السطحي لخطوط السطح، وعيوب السطح، والتآكل، وظروف التآكل، وقياس وتحليل ميزات السطح مثل التسطيح والخشونة والتموج وإزالة المسام وارتفاع الخطوة وتشوه الانحناء والتصنيع وميزات السطح الأخرى.
