تحليل المجهر البصري (OM)
يتمثل مبدأ التصوير في المجهر البصري في استخدام الضوء المرئي لإشعاع سطح العينة ، مما يسبب الانتثار المحلي أو الانعكاس لتشكيل تناقضات مختلفة. ومع ذلك ، نظرًا للطول الموجي للضوء المرئي ، فإن ارتفاع {{0}} ، فهو بطبيعة الحال هو الأسوأ من حيث الدقة (أو التمييز ، الدقة ، في إشارة إلى أقرب مسافة بين نقطتين يمكن حلها). تحت التشغيل العادي ، نظرًا لمعدل التمييز البصري فقط 0. ومع ذلك ، فإن مجال الرؤية هو في الواقع الأكبر من بين أنظمة التصوير المختلفة ، مما يشير إلى أن مراقبة المجهر البصري لا تزال توفر العديد من البيانات الهيكلية الأولية.
نوع الآلة
تطبيق التحليل
لا يزال تكبير وحل المجاهر البصرية ، على الرغم من عدم قدرته على تلبية احتياجات العديد من الملاحظات السطحية المادية ، يستخدم على نطاق واسع في تطبيقات مختلفة مثل:
مراقبة بنية المستعرضة للمكونات ؛
تحليل ومراقبة بنية تأخير مستوية ؛
مراقبة منطقة الحرة المرسب للترسبات ؛
مراقبة الأسلاك التفاضلية والخدوش المحفورة ؛
البحث عن أخطاء التراص المحسّنة للأكسدة (OSF).
