اسم ووظيفة كل جزء من المجهر متحد البؤر
استنادًا إلى مبدأ تقنية متحد البؤر، يتم استخدام المجهر متحد البؤر لقياس سطح الأجهزة والمواد الدقيقة المختلفة على المستوى الجزئي والنانو، ويمكنه تصوير مورفولوجيا السطح لعينات المواد مباشرة، بدقة جانبية تصل إلى 1 نانومتر. ودقة المحور Z تصل إلى 0.5 نانومتر. لا يمكنه فقط قياس التشكل السطحي للعينة وتوفير وظيفة توصيف التشكل المجهري لقياس حجم الملف الشخصي، ولكنه يوفر أيضًا خمس وظائف تحليلية رئيسية، مثل تحليل الخشونة، وتحليل المظهر الجانبي الهندسي، والتحليل الهيكلي، وتحليل التردد والوظيفة. تحليل. يتم أيضًا توفير تحليل الخشونة وتحليل المظهر الهندسي والتحليل الهيكلي وتحليل التردد والتحليل الوظيفي.
يتضمن تحليل الخشونة تحليل المعلمات الكاملة وفقًا لخشونة الخط ISO4287، وخشونة السطح ISO25178، والتسطيح ISO12781، وما إلى ذلك؛ يتضمن تحليل الكفاف الهندسي ارتفاع الخطوة والمسافة والزاوية والانحناء وقياسات الميزات الأخرى والاستقامة والاستدارة وتقييم تحمل الشكل؛ يشمل التحليل الهيكلي حجم الثقوب وعمق الحوض الصغير، وما إلى ذلك؛ ويتضمن تحليل التردد اتجاه الحبوب وتحليل الطيف؛ ويشمل التحليل الوظيفي تحليل الاتجاه والطيف الترددي؛ ويشمل تحليل التردد تحليل الاتجاه والطيف الترددي؛ والتحليل الوظيفي متاح أيضًا. يتضمن تحليل التردد اتجاه الملمس وتحليل الطيف؛ يتضمن التحليل الوظيفي معلمات SK ومعلمات الحجم.
يتكون هيكل المجهر متحد البؤر بشكل أساسي من: المجهر ومصدر ضوء الليزر وجهاز المسح والكاشف ونظام الكمبيوتر (بما في ذلك الحصول على البيانات ومعالجتها وتحويلها وبرامج التطبيق) وجهاز إخراج الصور والجهاز البصري ونظام البؤر.
في مجال فحص السيراميك والمعادن وأشباه الموصلات والرقائق وغيرها من علوم المواد والإنتاج، يحتوي المجهر متحد البؤر على مجموعة واسعة من التطبيقات. مجهر متحد البؤر يعتمد على مبدأ الفحص المجهري متحد البؤر، والمسح غير التلامسي لسطح الجهاز وإنشاء صورة ثلاثية الأبعاد للسطح، من خلال برنامج النظام على معالجة بيانات الصور ثلاثية الأبعاد لسطح الجهاز وتحليلها، وذلك للحصول على صور ثنائية وثلاثية الأبعاد المعلمات التي تعكس جودة سطح الجهاز، لتحقيق قياس مورفولوجيا سطح الجهاز ثلاثي الأبعاد.
يمكن استخدامها على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات وفحص عملية التعبئة والتغليف، وشاشة الزجاج الإلكترونية 3C وأجزائها الدقيقة، والمعالجة البصرية، وتصنيع المواد النانوية الدقيقة، وقطع غيار السيارات، وأجهزة MEMS وغيرها من صناعة الآلات فائقة الدقة والفضاء، ومعاهد البحث العلمي و مجالات أخرى. قياس وتحليل المظهر الجانبي للسطح، والعيوب السطحية، والتآكل، والتآكل، والتسطيح، والخشونة، والتموج، وإزالة المسام، وارتفاع الخطوة، وتشوه الانحناء، والمعالجة والميزات السطحية الأخرى لمختلف المنتجات والمكونات وأسطح المواد.
