تقنيات الدقة الفائقة الجديدة ، مثل الفحص المجهري المحفز لاستنفاد الانبعاث ، والفحص المجهري الموضعي الفعال ضوئيًا ، والفحص المجهري لإعادة البناء البصري العشوائي ، قللت الدقة من 100-200 نانومتر حتى أقل.
إن محددات المواقع الموضوعية بدقة نانومترية كهرضغطية مثالية لهذه التطبيقات. تتطلب محاذاة المجهر وحامل العينة حركات دقيقة وسريعة. يمكن لموضع العدسة الموضوعية الكهروإجهادية المعتمد على محرك السيراميك الكهرضغطية عالي الدقة أن يوفر دعمًا تقنيًا فريدًا فائق الدقة.
تم تصميم محدد موضع العدسة الموضوعية الكهرضغطية من سلسلة P72 خصيصًا لتطبيقات المجهر. إنه مصمم بآلية توجيه متوازية بمفصلة مرنة غير هستيرية. إنه عديم الاحتكاك وله دقة عالية للغاية ، ومبلغ تعويض صغير ، واستقرار تركيز عالٍ للغاية. إنه مناسب جدًا للتطبيقات مثل ضبط العينة ومحاذاة الحزمة وتتبع الحزمة.
الميزات: حركة المحور Z ، السكتة الدماغية 100 ميكرومتر ، دقة 2.5 نانومتر ، التردد التوافقي بدون تحميل 350 هرتز ، وقت خطوة عدم التحميل 3 مللي ثانية.
تتميز سلسلة P72 بمحددات تحديد موضع العدسة الموضوعية الكهرضغطية صغيرة الحجم ومدمجة الهيكل ، ويمكنها تحقيق ضربة إزاحة تبلغ 100 ميكرومتر. يتم توصيله بأعلى العدسة من خلال محول خيط ، ويمكن اختيار الخيط بشكل تعسفي. يمكن تكييفها مع مجموعة متنوعة من العدسات القياسية مثل Olympus و Zeiss و Nikon و Leica ، ويمكن تخصيصها.
يمكن أن يصل تردد الرنين بدون حمل إلى 350 هرتز ، ويمكن أن يحمل حمولة 200 جرام لحركة دقيقة عالية السرعة ، والتي تم استخدامها على نطاق واسع في المسح الضوئي ، والفحص المجهري متحد البؤر وغيرها من المجالات.
