يتم تكبير المجهر النفقي الماسح 300 مليون مرة أو عدة ملايين مرة
مجهر المسح النفقي ، المعروف أيضًا باسم "مجهر المسح النفقي" و "مجهر مسح الأنفاق" ، هو أداة تستخدم تأثير النفق في نظرية الكم لاكتشاف بنية سطح المواد. تم اختراعه من قبل جيرد بينينج (جي بينيج) وهاينريش روهرر (إتش روهرر) في مختبر زيورخ التابع لشركة آي بي إم في زيورخ ، سويسرا في عام 1981 ، ويمكنه الحصول على دقة طولية تبلغ 0. وهكذا شارك المخترعان 01 نانومتر 1986 جائزة نوبل في الفيزياء مع إرنست روسكا.
يتم اختصار مجهر المسح النفقي إلى STM. كأداة الفحص المجهري للمسح ، يسمح مجهر المسح النفقي للعلماء بمراقبة وتحديد موقع الذرات الفردية بدقة أعلى بكثير من نظيره من مجهر القوة الذرية.
بالإضافة إلى ذلك ، يمكن لمجهر المسح النفقي استخدام طرف المجس لمعالجة الذرات بدقة عند درجة حرارة منخفضة (4K) ، لذلك فهو أداة قياس مهمة بالإضافة إلى أداة معالجة في تكنولوجيا النانو.
