مقدمة لقدرات المجاهر متحد البؤر
يستخدم الفحص المجهري متحد البؤر بشكل أساسي تقنية التصوير ثلاثي الأبعاد، والتي تحقق التصوير الرقمي من خلال ليزر عالي الكثافة-من ثقب الكاميرا الرقمية، كما يتمتع بقدرة قوية على دقة العمق الرأسي.
مبدأ التصوير للمجهر متحد البؤر
يتم التقاط الصورة التي تم الحصول عليها عن طريق تركيز الضوء من المستوى البؤري من خلال كاميرا رقمية ذات ثقب، ويتم تجميع صورة ثلاثية الأبعاد كاملة باستخدام برنامج يعتمد على التسلسل المتراكم للصور من مستويات بؤرية مختلفة.
تفاصيل الصورة المكبرة التي تعرضها أنظمة الفحص المجهري متحد البؤر أعلى من تلك الموجودة في المجاهر الضوئية التقليدية. غالبًا ما تكون المجاهر الضوئية التقليدية مجهزة بكاميرات CCD ذات حساسية منخفضة لالتقاط الصور، والتي لا يمكنها اكتشاف شدة الإضاءة المنخفضة مثل الفلورسنت. في المقابل، تستخدم أنظمة الفحص المجهري متحد البؤر أنابيب مضاعفة ضوئية حساسة للغاية كعناصر كشف، والتي يمكن أن تظهر حساسية عالية لإشارات الفلورسنت الضعيفة وتزيل ضوضاء الخلفية عن طريق تقليل نطاق الإثارة واستخدام التقسيم البصري.
في ظل نفس ظروف التكبير الموضوعية، يعرض الفحص المجهري متحد البؤر صورًا ذات تفاصيل مورفولوجية أكثر وضوحًا وأدق، ودقة جانبية أعلى. مثل أداة قوية للكشف عن ميكرو نانو، فإن الفحص المجهري متحد البؤر لديه العديد من الاختلافات عن مقاييس تداخل الضوء الأبيض. إذا استخدمنا كلمة واحدة لوصفها، فإن مقاييس تداخل الضوء الأبيض هي "wen"، في حين أن المجاهر متحد البؤر هي "wu". يتفوق الضوء الأبيض في الكشف عن الأسطح فائقة النعومة بمستوى النانومتر ويتبع قيم الكشف الدقيقة؛ ومع ذلك، فإن الفحص المجهري متحد البؤر جيد في اكتشاف الملامح الخشنة على مستوى النانو الصغير. على الرغم من أن دقة الكشف الخاصة به أقل قليلاً، إلا أنه يمكن أن يوفر صورًا ملونة حقيقية ملونة لسهولة المراقبة.
يعتمد المجهر متحد البؤر من سلسلة VT6000 على تقنية متحد البؤر، بالإضافة إلى وحدات مسح الاتجاه Z الدقيقة، وخوارزميات النمذجة ثلاثية الأبعاد، وما إلى ذلك. ويمكنه قياس معلمات السطح المختلفة بما في ذلك النعومة إلى الخشونة، والانعكاس المنخفض إلى الانعكاس العالي، والخشونة، والتسطيح، والشكل الهندسي الدقيق، والانحناء، وما إلى ذلك لقطع العمل من مستويات النانومتر إلى مستويات الميكروميتر. يمكنه قياس وتحليل ميزات مورفولوجيا السطح مثل المظهر الجانبي للسطح، وعيوب السطح، والتآكل، والتآكل، والتسطيح، والخشونة، والتموج، وفجوة المسام، وارتفاع الخطوة، وتشوه الانحناء، ومعالجة المنتجات والمكونات والمواد المختلفة.
