مقدمة لميزات المجهر الإلكتروني الماسح
المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) هو أداة دقيقة كبيرة تستخدم لتحليل مورفولوجيا المنطقة الدقيقة عالي الدقة. ويتميز بخصائص عمق المجال الكبير، والدقة العالية، والتصوير البديهي، والإحساس القوي بالأبعاد الثلاثة، ونطاق التكبير الواسع، والقدرة على تدوير عينة الاختبار وإمالتها في مساحة ثلاثية الأبعاد. بالإضافة إلى ذلك، فهو يتمتع بمزايا مجموعة واسعة من أنواع العينات القابلة للقياس، وعدم حدوث أي ضرر أو تلوث تقريبًا للعينة الأصلية، والقدرة على الحصول في الوقت نفسه على المعلومات المورفولوجية والبنية والتركيب والمعلومات البلورية. في الوقت الحاضر، تم استخدام المجهر الإلكتروني الماسح على نطاق واسع في الأبحاث المجهرية في مجالات مثل علوم الحياة، والفيزياء، والكيمياء، والعدالة، وعلوم الأرض، وعلوم المواد، والإنتاج الصناعي. وفي مجال علوم الأرض وحده، يشمل علم البلورات، وعلم المعادن، والرواسب المعدنية، وعلم الرواسب، والكيمياء الجيولوجية، وعلم الأحجار الكريمة، والأحافير الدقيقة، وجيولوجيا الفلك، وجيولوجيا النفط والغاز، والجيولوجيا الهندسية، والجيولوجيا الهيكلية.
على الرغم من أن المجهر الإلكتروني الماسح هو الوافد الجديد إلى عائلة المجهر، إلا أن سرعة تطوره سريعة جدًا نظرًا لمزاياه العديدة.
يتمتع الجهاز بدقة عالية ويمكنه ملاحظة تفاصيل تبلغ حوالي 6 نانومتر على سطح العينة من خلال التصوير الإلكتروني الثانوي. وباستخدام مسدس الإلكترون LaB6، يمكن تحسينه إلى 3 نانومتر.
تحتوي الأداة على مجموعة واسعة من تغييرات التكبير ويمكن تعديلها بشكل مستمر. لذلك، يمكن اختيار أحجام مختلفة من مجالات الرؤية للمراقبة حسب الحاجة، ويمكن أيضًا الحصول على صور واضحة ذات سطوع عالٍ يصعب الحصول عليها باستخدام المجهر الإلكتروني النافذ العام عند التكبير العالي.
عمق المجال ومجال رؤية العينة كبيران، والصورة غنية بالمعنى ثلاثي الأبعاد. ويمكنه ملاحظة الأسطح الخشنة مباشرة ذات التموجات الكبيرة وصور الكسور المعدنية غير المستوية للعينة، مما يمنح الناس إحساسًا بالتواجد في العالم المجهري.
إعداد العينات الأربعة بسيط. وطالما تم معالجة عينات الكتل أو المسحوق بشكل طفيف أو لم تتم معالجتها، فيمكن ملاحظتها مباشرة تحت المجهر الإلكتروني الماسح، وهو أقرب إلى الحالة الطبيعية للمادة.
5. يمكن التحكم في جودة الصورة وتحسينها بشكل فعال من خلال الطرق الإلكترونية، مثل الصيانة التلقائية للسطوع والتباين، أو تصحيح زاوية ميل العينة، أو تدوير الصورة، أو تحسين تحمل تباين الصورة من خلال تعديل Y، بالإضافة إلى السطوع والظلام المعتدل في أجزاء مختلفة من الصورة. باستخدام جهاز التكبير المزدوج أو محدد الصور، يمكن ملاحظة الصور ذات مستويات التكبير المختلفة في وقت واحد على شاشة الفلورسنت.
6 يمكن إخضاعها لتحليل شامل. قم بتركيب مطياف الأشعة السينية المشتت للطول الموجي (WDX) أو مطياف الأشعة السينية المشتتة للطاقة (EDX) لتمكينه من العمل كمسبار إلكتروني واكتشاف الإلكترونات المنعكسة، والأشعة السينية، والتألق الكاثودي، والإلكترونات المنقولة، وإلكترونات أوجيه، وما إلى ذلك المنبعثة بواسطة العينة. لقد أثبت توسيع نطاق تطبيق المجهر الإلكتروني الماسح ليشمل طرق تحليل المناطق المجهرية والجزئية المختلفة تعدد وظائف المجهر الإلكتروني الماسح. وبالإضافة إلى ذلك، من الممكن أيضًا تحليل المناطق الدقيقة المحددة للعينة مع مراقبة صورة التشكل؛ من خلال تثبيت ملحق حامل عينة أشباه الموصلات، يمكن ملاحظة وصلات PN والعيوب الدقيقة في الترانزستورات أو الدوائر المتكاملة مباشرة من خلال مضخم صورة القوة الدافعة الكهربائية. نظرًا لتطبيق التحكم الآلي وشبه الآلي بالكمبيوتر الإلكتروني للعديد من المجسات الإلكترونية للمجهر الإلكتروني الماسح، فقد تم تحسين سرعة التحليل الكمي بشكل كبير.
