مقدمة في المجهر متحد البؤر
يعتمد مبدأ عمل الفحص المجهري متحد البؤر على مفهوم "متحد البؤر"، مما يعني أنه يمكن تصوير النقاط الموجودة على المستوى البؤري للعدسة الموضوعية بوضوح فقط، في حين يتم استبعاد التصوير من نقاط خارج المستوى البؤري. ويتم تحقيق ذلك من خلال استخدام أنظمة بصرية خاصة، مثل الفتحة البؤرية (الثقب). في المجهر متحد البؤر، يتم تشعيع مصدر ضوء (عادةً ليزر) على العينة ثم يتم جمع الضوء المنعكس أو المنبعث من العينة. يمكن فقط للضوء من المستوى البؤري المرور عبر الفتحة البؤرية، بينما يتم حجب الضوء من المواضع الأخرى، مما يؤدي إلى صورة مستوى بؤري واضحة جدًا.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن للفحص المجهري متحد البؤر مسح طبقة العينة بطبقة وجمع بيانات الصورة لكل طبقة، ثم استخدام هذه البيانات لإعادة بناء الشكل ثلاثي الأبعاد للعينة. توفر طريقة المسح طبقة تلو الأخرى دقة أعلى من المجاهر الضوئية التقليدية، خاصة في الاتجاه الرأسي للعينة.
ولديها مجموعة واسعة من التطبيقات في مجالات مختلفة مثل علوم المواد وصناعة أشباه الموصلات، خاصة عندما تكون هناك حاجة إلى قدرات تصوير عالية الدقة وثلاثية الأبعاد. خصائص القياس هي كما يلي:
1. قياس عالي الدقة: يمكن أن يوفر الفحص المجهري متحد البؤر دقة مستوى نانومتر، مما يسمح له بقياس ميزات العينة الصغيرة جدًا.
2. مورفولوجيا ثلاثية الأبعاد: من خلال مسح العينات على مستويات عمق مختلفة، يمكن أن ينتج الفحص المجهري متحد البؤر صورًا ثلاثية الأبعاد للعينات، وهو أمر مفيد جدًا لتحليل البنية ثلاثية الأبعاد للعينات.
3. تحليل خشونة السطح: يمكن للمجهر متحد البؤر قياس وتحليل خشونة سطح العينات بدقة. يتمتع بقدرة قوية على دقة العمق الرأسي، ويمكنه عرض تفاصيل مورفولوجيا الصورة للأشياء الصغيرة بوضوح، وعرض صور تفصيلية دقيقة، وله تأثيرات تصوير أفضل على المنتجات ذات المنحدرات الكبيرة. وهذا مهم جدًا لتطبيقات علوم وهندسة المواد.
