مقدمة إلى المجاهر متحد البؤر
يعتمد مبدأ عمل الفحص المجهري متحد البؤر على مفهوم "متحد البؤر"، مما يعني أنه يمكن تصوير النقاط الموجودة على المستوى البؤري للعدسة الموضوعية بوضوح فقط، في حين يتم استبعاد النقاط خارج المستوى البؤري. ويتم تحقيق ذلك من خلال استخدام أنظمة بصرية خاصة، مثل فتحة متحد البؤر (الثقب). في الفحص المجهري متحد البؤر، يتم تشعيع مصدر ضوء (عادةً ليزر) على العينة، ثم يتم جمع الضوء المنعكس أو المنبعث من العينة. يمكن فقط للضوء من المستوى البؤري المرور عبر فتحة البؤرة، بينما يتم حجب الضوء من المواضع الأخرى، مما يؤدي إلى صورة مستوى بؤري واضحة جدًا.
بالإضافة إلى ذلك، يمكن للفحص المجهري متحد البؤر مسح طبقة العينة بطبقة وجمع بيانات الصورة لكل طبقة، ثم استخدام هذه البيانات لإعادة بناء الشكل -الأبعاد الثلاثة للعينة. توفر طريقة المسح طبقة تلو الأخرى دقة أعلى من المجاهر الضوئية التقليدية، خاصة في الاتجاه الرأسي للعينة.
وله تطبيقات واسعة في مجالات مختلفة مثل علوم المواد وصناعة أشباه الموصلات، خاصة في المواقف التي تتطلب قدرات تصوير عالية الدقة وثلاثية الأبعاد. خصائص القياس هي كما يلي:
1. قياس عالي الدقة: يمكن أن يوفر الفحص المجهري متحد البؤر دقة مستوى نانومتر، مما يمكنه من قياس ميزات العينة الصغيرة جدًا.
2. الشكل ثلاثي الأبعاد: عن طريق مسح العينة على مستويات عمق مختلفة، يمكن أن ينتج الفحص المجهري متحد البؤر صورًا ثلاثية الأبعاد - للعينة، وهو أمر مفيد جدًا لتحليل البنية ثلاثية الأبعاد - للعينة.
3. تحليل خشونة السطح: يمكن للمجهر متحد البؤر قياس وتحليل خشونة سطح العينات بدقة. إنها تتمتع بقدرة قوية على دقة العمق الرأسي، والتي يمكنها عرض تفاصيل شكل الصورة للأشياء الصغيرة بوضوح، وإظهار الصور التفصيلية الدقيقة، والحصول على تأثيرات تصوير أفضل للمنتجات ذات المنحدرات الكبيرة. وهذا مهم جدًا لتطبيقات علوم وهندسة المواد.
