تفاعل الإلكترونات مع المادة هو الأساس لمسح إنتاج المجهر الإلكتروني. يتم إنتاج الإلكترونات الثانوية ، وإلكترونات أوجيه ، والأشعة السينية المميزة والأشعة السينية المستمرة ، والإلكترونات المتناثرة ، والإلكترونات المرسلة ، والإشعاع الكهرومغناطيسي في النطاقات المرئية والأشعة فوق البنفسجية والأشعة تحت الحمراء عندما تقصف شعاع من الإلكترونات الساقطة عالية الطاقة سطح قضيه. يمكن إنتاج الاهتزازات الشبكية (الفونونات) وتذبذبات الإلكترون (البلازما) وأزواج الثقوب الإلكترونية في نفس الوقت. من الناحية النظرية ، يمكن تحديد العديد من الخصائص الفيزيائية والكيميائية للعينة نفسها ، بما في ذلك شكلها وتكوينها وهيكلها البلوري وهيكلها الإلكتروني والمجالات الكهربائية أو المغناطيسية الداخلية ، من خلال استغلال التفاعل بين الإلكترونات والمادة.
من أجل إنشاء شعاع إلكتروني ذي طاقة محددة ، وشدة ، وقطر نقطي على سطح العينة ، يُصدر مدفع الإلكترون شعاعًا إلكترونيًا بطاقة تصل إلى 30 كيلو فولت ، والتي يتم تقليلها وتركيزها بواسطة العدسة المتقاربة والعدسة الشيئية . ستعمل شعاع الإلكترون الساقط على مسح سطح العينة نقطة تلو الأخرى تحت تأثير المجال المغناطيسي لملف المسح في مقدار معين من الوقت والمكان. يتم إثارة الإلكترونات الثانوية من العينة الإلكترونية نتيجة لتلامس الإلكترون الساقط مع سطح العينة. تسمح وظيفة جامع الإلكترون الثانوي له بالتقاط الإلكترونات الثانوية التي تنبعث في جميع الاتجاهات.
ثم يتم دفعها بواسطة القطب الكهربائي المتسارع إلى جهاز وميض للتحويل إلى إشارة ضوئية ، قبل الانتقال إلى أسفل أنبوب الضوء إلى أنبوب المضاعف الضوئي للخضوع لعملية تحويل أخرى للإشارة الضوئية. لنقل الإشارات الكهربائية. يضخم مضخم الفيديو هذه الإشارة الكهربائية ، والتي يتم توفيرها بعد ذلك لشبكة أنبوب الصورة لتنظيم سطوعها وعرض صورة الإلكترون الثانوية التي تعكس تذبذب سطح العينة على شاشة الفلورسنت.
عملية التصوير المستخدمة في تصوير TEM ، والتي تستخدم التصوير بالعدسة المغناطيسية وتنتهي كلها مرة واحدة ، مختلفة تمامًا.
يشكل النظام البصري الإلكتروني ونظام المسح ونظام كشف الإشارات ونظام العرض ومصدر الطاقة ونظام الفراغ غالبية مجهر المسح الإلكتروني. يعرض الرسم تمثيلًا تخطيطيًا لبنائه. في اختبار اللاصق ، يتم استخدام الفحص المجهري الإلكتروني بشكل متكرر.
