كم نانومتر يمكن أن يرى المجهر متحد البؤر؟
الهدف من علم المواد هو دراسة تأثير البنية السطحية للمادة على خصائص سطحها. لذلك، يعد تحليل تضاريس السطح بدقة عالية أمرًا مهمًا لتحديد المعلمات المتعلقة بخشونة السطح والخصائص العاكسة والخصائص الاحتكاكية وجودة السطح. تقنيات متحد البؤر قادرة على قياس المواد ذات الخصائص العاكسة السطحية المتنوعة والحصول على بيانات قياس فعالة.
يعد مجهر الليزر متحد البؤر، الذي يعتمد على مبدأ تقنية متحد البؤر، أداة فحص للقياسات الدقيقة والنانوية على أسطح الأجهزة والمواد الدقيقة المختلفة. تصل دقة القياس العالية إلى 0.5nm.
التطبيقات
1. ميمز
قياس الأبعاد للمكونات الميكرونية ودون الميكرونية، ومراقبة مورفولوجيا السطح بعد العمليات المختلفة (التطوير، والحفر، والتعدين، والأمراض القلبية الوعائية، وPVD، وCMP، وما إلى ذلك)، وتحليل العيوب.
2. المكونات الميكانيكية الدقيقة والأجهزة الإلكترونية
قياس الأبعاد للمكونات الميكرونية ودون الميكرونية، ومراقبة شكل السطح بعد عمليات المعالجة السطحية المختلفة، وعمليات اللحام، وتحليل العيوب، وتحليل الجسيمات.
3. أشباه الموصلات/شاشات الكريستال السائل
مراقبة تضاريس السطح بعد العمليات المختلفة (التطوير، والحفر، والتعدين، وCVD، وPVD، وCMP، وما إلى ذلك)، وتحليل العيوب، وقياس عرض خطوط عدم الاتصال، وأعماق الخطوات، وما إلى ذلك.
4. علم الاحتكاك والتآكل وهندسة الأسطح الأخرى
قياس حجم علامات التآكل وقياس الخشونة والتضاريس السطحية والتآكل والتضاريس السطحية بعد هندسة الأسطح دون الميكرون.
المواصفات الفنية
الموديل: VT6100
نطاق السكتة الدماغية: 100*100*100 مللي متر
نطاق مجال الرؤية: 120 × 120 ميكرومتر ~ 1.2 × 1.2 مم
تكرار قياس الارتفاع (1σ): 12 نانومتر
دقة قياس الارتفاع: ± ({{0}).2+L/100) ميكرومتر
دقة قياس الارتفاع: 0.5 نانومتر
تكرار قياس العرض (1σ): 40 نانومتر
دقة قياس العرض: ± 2%
دقة قياس العرض: 1 نانومتر
