كيف ينتج المجهر متحد البؤر تصويرًا ثلاثي الأبعاد
يعد الفحص المجهري متحد البؤر تقنية مجهرية مهمة توفر إمكانات تصوير عالية الدقة وثلاثية الأبعاد، وله أهمية كبيرة في مجالات مثل علم المواد.
مبادئ التصوير ثلاثي الأبعاد
يركز شعاع الضوء المنبعث من مصدر ضوء LED على سطح العينة بعد المرور عبر قرص متعدد الفتحات وعدسة موضوعية. بعد ذلك، ينعكس الشعاع مرة أخرى إلى نظام القياس من خلال سطح العينة. عند المرور عبر الثقوب الموجودة في MPD مرة أخرى، سيحتفظ الضوء المنعكس بنقاط الضوء المركزة فقط. وأخيرًا، ينعكس شعاع الضوء بواسطة مقسم ويتم تصويره على الكاميرا. ومن خلال مسح العينة، يمكن الحصول على معلومات الصورة بأعماق مختلفة.
يمكن أن يوفر الفحص المجهري متحد البؤر إمكانات تصوير عالية الدقة وثلاثية الأبعاد. في مجال إنتاج المواد، يمكنه قياس التشكل الفيزيائي للسطح وإجراء تحليل مورفولوجي ثلاثي الأبعاد بمقياس النانو الصغير، مثل مورفولوجيا السطح ثلاثية الأبعاد، وتشكل العمق ثنائي الأبعاد، والكفاف (العمق، العرض، الانحناء، الزاوية)، خشونة السطح، إلخ.
في ظل نفس ظروف التكبير الموضوعية، يعرض الفحص المجهري متحد البؤر تفاصيل مورفولوجية للصورة أكثر وضوحًا وأدق، مع دقة جانبية أعلى. يبرع في اكتشاف الملامح الخشنة على المستوى الصغير والنانوي، وقادر على توفير صور ملونة حقيقية ملونة لسهولة المراقبة.
دور المجهر متحد البؤر
المجهر متحد البؤر هو أداة كشف تستخدم لقياسات المستوى الصغير والنانوي لمختلف الأجهزة الدقيقة وأسطح المواد. إنها أداة كشف بصري تستخدم تقنية متحد البؤر كمبدأ، جنبًا إلى جنب مع وحدات المسح الدقيقة للمحور Z، وخوارزميات النمذجة ثلاثية الأبعاد، وما إلى ذلك، لإجراء مسح عدم الاتصال على سطح الجهاز وإنشاء صورة ثلاثية الأبعاد للسطح. تتم معالجة الصورة ثلاثية الأبعاد لسطح الجهاز وتحليلها من خلال برنامج النظام، ويتم الحصول على معلمات ثنائية وثلاثية الأبعاد تعكس جودة سطح الجهاز، وبالتالي تحقيق قياس ثلاثي الأبعاد لمورفولوجيا سطح الجهاز.
