العوامل المؤثرة على دقة المجهر الإلكتروني النافذ
لا يمكن رؤية الهياكل الدقيقة الأصغر من 0.2 ميكرومتر بوضوح تحت المجهر الضوئي. تسمى هذه الهياكل الهياكل تحت المجهرية أو الهياكل فائقة المجهر.
الهياكل؛ الهياكل الفوقية). لرؤية هذه الهياكل بوضوح، يجب اختيار مصدر ضوء ذو طول موجي أقصر لزيادة دقة المجهر. في عام 1932، اخترع روسكا المجهر الإلكتروني النافذ (TEM) الذي يستخدم شعاعًا إلكترونيًا كمصدر للضوء. الطول الموجي لشعاع الإلكترون أقصر بكثير من الضوء المرئي والأشعة فوق البنفسجية، والطول الموجي لشعاع الإلكترون يتناسب عكسيا مع الجذر التربيعي لجهد شعاع الإلكترون المنبعث. بمعنى أنه كلما زاد الجهد، كلما كان الطول الموجي أقصر. يمكن أن تصل الدقة الحالية لـ TEM إلى 0.2nm.
مبادئ التصوير للمجاهر الإلكترونية والمجاهر الضوئية هي نفسها في الأساس. والفرق هو أن الأول يستخدم أشعة الإلكترون كمصدر للضوء والمجالات الكهرومغناطيسية كالعدسات. بالإضافة إلى ذلك، نظرًا لأن قوة اختراق حزم الإلكترون ضعيفة جدًا، يجب تحويل العينات المستخدمة في الفحص المجهري الإلكتروني إلى أقسام رقيقة جدًا يبلغ سمكها حوالي 50 نانومتر. هذا النوع من الشريحة يجب أن يتم باستخدام مشراح فائق الدقة. يمكن أن يصل تكبير المجهر الإلكتروني إلى ما يقرب من مليون مرة. ويتكون من خمسة أجزاء: نظام الإضاءة الإلكتروني، ونظام تصوير العدسات الكهرومغناطيسية، ونظام الفراغ، ونظام التسجيل، ونظام إمداد الطاقة. إذا تم تقسيمها: الجزء الرئيسي هو العدسة الإلكترونية وتسجيل التصوير ويتكون النظام من مسدس إلكتروني، ومكثف، وغرفة عينة،
العدسة الموضوعية، عدسة الحيود، العدسة المتوسطة،
مرايا العرض وشاشات الفلورسنت والكاميرات.
المجهر الإلكتروني هو مجهر يستخدم الإلكترونات للكشف عن الجزء الداخلي أو سطح الجسم.
الطول الموجي للإلكترونات عالية السرعة أقصر من الضوء المرئي (ثنائية الموجة والجسيم)، ودقة المجهر محدودة بالطول الموجي الذي يستخدمه، وبالتالي فإن دقة المجهر الإلكتروني (حوالي 0. 1 نانومتر) أعلى بكثير من المجهر الضوئي (حوالي 200 نانومتر).
