شرح الفرق بين المجهر الليزري متحد البؤر والمجهر الإلكتروني الماسح
يعد كل من المجهر الليزري متحد البؤر والمجهر الإلكتروني الماسح بمثابة تصوير مسح ضوئي من مصدر نقطي، ويتم ضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق المسح الضوئي. يعمل المجهر الليزري متحد البؤر عن طريق المسح بالليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) إشارات فيزيائية مختلفة متحمسة لمسح شعاع الإلكترون عالي التركيز على سطح العينة لتعديل التصوير، ويمكن الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط، ولكن ليس صورًا ثلاثية الأبعاد.
1. دقة حدود مختلفة (مصادر إشارة تضخيم مختلفة)
متحد البؤر الليزر: الحد الأقصى للدقة هو 150 نانومتر.
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر~0.8 نانومتر
2. أوضاع قيادة المسح المختلفة.
متحد البؤر الليزر: تتحكم مرآة الليزر الدوارة في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح.
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة المسح لشعاع الإلكترون.
3. التصوير المجسم مختلف
متحد البؤر الليزر: يتم تصوير العينة طبقة بعد طبقة في اتجاه المحور Z بواسطة محرك متدرج دقيق النانو، ويقوم البرنامج بتجميع الصور المحددة لكل طبقة في صورة واضحة ثلاثية الأبعاد.
المجهر الإلكتروني الماسح (SEM): الصورة ذات الإطار الواحد لها عمق مجال كبير وتنتمي إلى الصورة ثنائية الأبعاد.
4، نطاق التطبيق مختلف
متحد البؤر الليزر: عدة مرات إلى عدة آلاف من المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات إلى عدة مئات الآلاف من المرات
5. بيئة عمل مختلفة
متحد البؤر الليزر: يمكنه اختبار العينات في البيئة الجوية.
المجهر الإلكتروني الماسح: اختبار العينات في بيئة عالية الفراغ.
