نظام التصوير بالمجهر الإلكتروني
1. عدسة موضوعية ووصمة
العدسة الموضوعية هي العدسة التصويرية الأولى لنظام التصوير. يتم تحديد أداء المجهر الإلكتروني بشكل أساسي من خلال الخصائص البصرية للعدسة الشيئية. سيتم زيادة تضخيم أي عيوب في العدسة الشيئية بواسطة عدسات أخرى في نظام التصوير. لذلك ، يجب أن يكون انحراف العدسة الشيئية صغيرًا بقدر الإمكان ويكون التكبير مرتفعًا بما يكفي ، وعادة ما تكون العدسة الشيئية ذات الإثارة القوية والبعد البؤري القصير (1. 5-3 مم) وغشاء العدسة الشيئية تستخدم لتقليل الزيغ الكروي. نظرًا لأن الفتحة الضوئية صغيرة جدًا ، سيتم تقليل دقة العدسة الشيئية بسبب تأثير الانعراج وسيكون تداخل شعاع الإلكترون قويًا بسبب تأثير التلوث للحافة البصرية ، لذلك لا يمكن أن تكون الفتحة الضوئية صغيرة جدًا .
يعتبر وصمة العار جزءًا مهمًا لضمان تحسين دقة العدسة الموضوعية. يستخدم مجالًا مغناطيسيًا مع قوة واتجاه قابل للتعديل لتصحيح اللابؤرية المحورية الناتجة عن العدسة الشيئية غير المحورية.
يتكون الوصم الكهرومغناطيسي الشائع من مجموعتين من أربعة أزواج من المغناطيسات الكهربائية المثبتة بالتساوي حول الفجوة بين قطع القطب. المجالان المغنطيسيان المصححان البيضاويان المتشكلان متعامدان مع بعضهما البعض ، وبتغيير شدة الإثارة واتجاه المجال المغناطيسي لمجموعتي الكهرومغناطيسية - يمكن تشكيل مجال تصحيح غير متماثل دورانيًا. إذا كانت قوتها مساوية لمجال الاستجماتيزم للعدسة ، وكانت الاتجاهات متعامدة مع بعضها البعض ، فيمكنها القضاء على الاستجماتيزم.
2. مرآة وسيطة ومرآة إسقاط
المرآة الوسيطة عبارة عن عدسة مغناطيسية ضعيفة ذات طول بؤري طويل وتكبير متغير. الفتحة الداخلية لقطعة العمود أكبر ، والتكبير ما بين 0-20. عندما يكون التكبير أكبر من 1 ، يتم استخدامه لتكبير المرآة الموضوعية ؛ عندما يكون التكبير أقل من 1 ، يتم استخدامه لتقليل المرآة الموضوعية.
مرآة الإسقاط عبارة عن عدسة مغناطيسية قوية ذات طول بؤري قصير ، تستخدم أحذية قطب ذات فتحة صغيرة متناظرة لأعلى ولأسفل - للحصول على تكبير كبير. تحتوي مرآة الإسقاط على تيار إثارة معين ، والذي يلعب دور تكبير الصورة الوسطى وعرضها على شاشة الفلورسنت.
3. ثلاث مراحل التضخيم
يتم تحديد أعلى نسبة تكبير للميكروسكوب الإلكتروني من خلال عوامل مثل أداء الأداة ، ودقة لوحة قاعدة التصوير (أو شاشة الفلورسنت) ، وما إلى ذلك. بشكل عام ، يمكن لنظام التصوير المكبّر الثانوي الحصول على صورة إلكترونية مكبرة بحوالي 200 ، 000 مرة. تقوم العدسة الشيئية بتكبير تفاصيل العينة 100 مرة وتشكل الصورة على المرآة الموضوعية ، بينما تقوم المرآة الوسيطة بتكبير صورة العدسة الشيئية بمقدار 20 مرة وتصورها على مرآة الإسقاط ؛ تضخم مرآة الإسقاط صورة المرآة الوسيطة بمقدار 100 مرة وتشكل الصورة على شاشة الفلورسنت. يمكن تعديل عدد الرهبان المتضخمين عن طريق تغيير التيار المثير للإدراج الأوسط. بعد تغيير تيار الإثارة للمدينة الوسطى ، يجب أيضًا تغيير تيار الإثارة للعدسة الموضوعية بشكل مناسب لضمان مزج مستوى المرآة للعدسة الشيئية مع سطح التثبيت الأوسط ، وذلك للحصول على صورة واضحة للعدسة الموضوعية. النقطة المحورية.
في نظام التصوير ثلاثي المراحل ، إذا تم تغيير تيار الإثارة للكائن ، يمكن عمل صورة العدسة الموضوعية تحت الحامل الأوسط.
مرآة الكائن هي "كائن افتراضي" ، يتم تشكيله في صورة حقيقية صغيرة على سطح الكائن A لمرآة الإسقاط. يتم تصوير مرآة الإسقاط على شاشة الفلورسنت ، بحيث يمكن الحصول على صورة إلكترونية مكبرة من آلاف إلى عشرات الآلاف من المرات. يمكن تقليل تشوه الصورة الناتج عن هذه الطريقة عن طريق التعويض المتبادل للتشوه البرميلي للمرآة الوسيطة والتشويه الوسادي لمرآة الإسقاط.
إذا تم إغلاق العدسة الموضوعية وتم استخدام المرآة الوسيطة بدلاً من مدينة الكائن للتصوير ، فيمكن تقليل التكبير إلى حوالي 100-300 زائد ، ويمكن الحصول على صور ذات مجال رؤية أكبر.
