يحتوي المجهر الإلكتروني على عدة أجزاء
يتكون المجهر الإلكتروني من ثلاثة أجزاء: أسطوانة العدسة ، وجهاز تفريغ الهواء ، وخزانة إمداد الطاقة.
1. يشتمل أسطوانة العدسة بشكل أساسي على مصادر الإلكترون وعدسات الإلكترون وحاملات العينات وشاشات الفلورسنت وأجهزة الكشف. عادة ما يتم تجميع هذه المكونات في أسطوانة من أعلى إلى أسفل.
تُستخدم عدسة الإلكترون لتركيز الإلكترونات وهي العنصر الأكثر أهمية في أسطوانة المجهر الإلكتروني. بشكل عام ، يتم استخدام العدسات المغناطيسية ، وأحيانًا تستخدم العدسات الكهروستاتيكية أيضًا.
2. يتم استخدام جهاز التفريغ لضمان حالة الفراغ في المجهر ، بحيث لا يتم امتصاص الإلكترونات أو انحرافها عن مسارها. وهي تتألف من مضخة تفريغ ميكانيكية ومضخة انتشار وصمام تفريغ ، وهي متصلة ببرميل العدسة من خلال أنبوب العادم.
3. تتكون خزانة الطاقة من مولد جهد كهربائي عالي ، ومثبت تيار الإثارة ، ووحدات تحكم ضبط متنوعة.
