الاختلافات بين المجهر متحد البؤر الليزر والمجهر الإلكتروني الماسح
تعد كل من مجاهر الليزر متحد البؤر وأجهزة SEM بمثابة تصوير مسح نقطة بنقطة حيث يتم ضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق محرك المسح. يعمل مجهر الليزر متحد البؤر عن طريق المسح بالليزر للحصول على صور ثلاثية الأبعاد. المجهر الإلكتروني الماسح هو استخدام شعاع الإلكترون المركز بدقة في مسح سطح العينة لإثارة مجموعة متنوعة من الإشارات الفيزيائية لتعديل التصوير، ويمكن الحصول على صور ثنائية الأبعاد فقط، ولا يمكن الحصول على صور ثلاثية الأبعاد.
1، دقة تحديد مختلفة (تضخيم مصادر الإشارة المختلفة)
متحد البؤر الليزر: الدقة النهائية 150 نانومتر
المجهر الإلكتروني الماسح: 20 نانومتر ~ 0.8 نانومتر
2، وضع محرك المسح المختلفة
متحد البؤر الليزر: مرآة دوارة بالليزر للتحكم في نطاق المسح بالليزر وسرعة المسح
المجهر الإلكتروني الماسح: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في مدى مسح شعاع الإلكترون وسرعة المسح
3، تصوير ستيريو مختلف
متحد البؤر الليزر: يتم تشغيل العينة بواسطة محرك متدرج دقيق النانو في طبقة اتجاه المحور Z عن طريق تصوير الطبقة، وسيقوم البرنامج بتعيين صورة كل طبقة لتجميع صورة ستيريو ثلاثية الأبعاد واضحة.
المجهر الإلكتروني الماسح: صورة أحادية الإطار ذات عمق مجال كبير، تنتمي إلى الصورة ثنائية الأبعاد.
4، نطاق تطبيق مختلف
متحد البؤر الليزر: عدة مرات إلى عدة آلاف من المرات
المجهر الإلكتروني الماسح: عدة مرات ~ مئات الآلاف من المرات
5، بيئات العمل المختلفة
متحد البؤر الليزر: يمكنه اختبار العينات في البيئة الجوية
المجهر الإلكتروني الماسح: اختبار العينات في بيئة عالية الفراغ.
