الاختلافات بين مجهر مسح الليزر متحد البؤر ومسح المجهر الإلكتروني

الاختلافات بين مجهر مسح الليزر متحد البؤر ومسح المجهر الإلكتروني

يستخدم كل من المجهر متحد البؤر بالليزر ومسح المجهر الإلكتروني كلاهما مصدر النقطة لمسح نقطة التصوير حسب النقطة ، وضبط التكبير عن طريق التحكم في نطاق محرك المسح. يعمل المجهر متحد البؤر بالليزر من خلال مسح الليزر ويمكنه الحصول على صور ثلاثية الأبعاد. يقوم مسح المجهر الإلكتروني بتعديل التصوير باستخدام إشارات مادية مختلفة متحمسة من خلال شعاع إلكترون مركّز بشكل جيد يفحص سطح العينة ، ويمكنه فقط الحصول على صور ثنائية الأبعاد ، وليس الصور ثلاثية الأبعاد.

1. قرارات متطرفة مختلفة (تختلف مصادر الإشارة المتضخمة)
متحد البؤر بالليزر: أقصى دقة 150 نانومتر
مجهر الإلكترون المسح: 2 0 nm ~ 0.8nm

2. طرق قيادة مختلفة
متحد البؤر بالليزر: مرآة الليزر يتحكم في نطاق مسح الليزر وسرعة المسح
مسح المجهر الإلكتروني: يتحكم الملف الكهرومغناطيسي في نطاق المسح وسرعة شعاع الإلكترون

3. التصوير المجسم مختلف
بالليزر متحد البؤر: يتم تشغيل العينة بواسطة محرك السائر الدقيق للنانو إلى طبقة الصورة حسب الطبقة في اتجاه المحور z ، ويقوم البرنامج بتوليف الصور المحددة لكل طبقة في صورة ثلاثية الأبعاد واضحة
مسح المجهر الإلكتروني: صور إطار واحد لها عمق كبير من الحقل وينتمي إلى صور ثنائية الأبعاد

4. نطاق تطبيق مختلف
متحد البؤر بالليزر: عدة مرات إلى عدة آلاف من المرات
مسح المجهر الإلكتروني: عدة مرات إلى عدة مئات من الآلاف مرة

5. بيئات عمل مختلفة
متحد البؤر بالليزر: يمكن اختبار العينات في البيئة الجوية
مسح المجهر الإلكتروني: اختبار عينات في بيئة فراغ عالية