الفرق بين المجهر الإلكتروني والمجهر المعدني
مبدأ المجهر الإلكتروني الماسح
المجهر الإلكتروني الماسح (SEM)، والمختصر بـ SEM، هو نظام معقد يكثف التكنولوجيا الإلكترونية الضوئية، وتكنولوجيا الفراغ، والميكانيكا الدقيقة، وتكنولوجيا التحكم الحديثة بالكمبيوتر. SEM هو تأثير متسارع عالي الجهد لمدفع الإلكترون المنبعث من الإلكترون من خلال عدسة كهرومغناطيسية متعددة المراحل تتقارب في شعاع صغير من الإلكترونات. المسح على سطح العينة، وإثارة مجموعة متنوعة من المعلومات، من خلال استقبال هذه المعلومات، والتضخيم وعرض التصوير، من أجل تحليل سطح العينة. ينتج عن تفاعل الإلكترونات الساقطة مع العينة أنواع المعلومات الموضحة في الشكل 1. ويختلف توزيع الكثافة ثنائي الأبعاد لهذه المعلومات باختلاف خصائص سطح العينة (هذه الخصائص هي مورفولوجيا السطح، والتركيب، واتجاه البلورة، والخصائص الكهرومغناطيسية ، وما إلى ذلك)، عبارة عن مجموعة متنوعة من أجهزة الكشف لجمع المعلومات بالترتيب، ونسبة المعلومات المحولة إلى إشارة فيديو، ومن ثم نقلها إلى المسح المتزامن لأنبوب الصورة وتعديل سطوعها، يمكنك الحصول على استجابة على سطح خريطة مسح العينة. إذا تم رقمنة الإشارة التي يتلقاها الكاشف وتحويلها إلى إشارة رقمية، فيمكن معالجتها وتخزينها بواسطة الكمبيوتر. تم تصميم المجاهر الإلكترونية الماسحة بشكل أساسي لمراقبة عينات الكتل السميكة ذات الاختلافات الكبيرة في الارتفاع والتفاوت الخام، وبالتالي فهي مصممة لتسليط الضوء على تأثير عمق المجال، وتستخدم بشكل عام لتحليل الكسور وكذلك الأسطح الطبيعية التي لم يتم تم علاجها بشكل مصطنع.
المجهر الإلكتروني والمجهر المعدني
أولاً، يختلف مصدر الضوء: المجهر المعدني الذي يستخدم الضوء المرئي كمصدر للضوء، والمجهر الإلكتروني الماسح باستخدام شعاع الإلكترون كمصدر للضوء.
ثانيًا، المبدأ مختلف: المجهر المعدني يستخدم مبدأ التصوير البصري الهندسي للتصوير، والمجهر الإلكتروني الماسح باستخدام قصف شعاع الإلكترون عالي الطاقة لسطح العينة، وإثارة مجموعة متنوعة من الإشارات الفيزيائية على سطح العينة، ثم الاستخدام أجهزة كشف الإشارة المختلفة لقبول الإشارات المادية المحولة إلى معلومات الصورة.
ثالثًا، الدقة مختلفة: المجهر المعدني بسبب تداخل وحيود الضوء، لا يمكن أن يقتصر القرار إلا على 0.2-0.5um بين. المجهر الإلكتروني الماسح نظرًا لاستخدام شعاع الإلكترون كمصدر للضوء، يمكن أن تصل الدقة إلى ما بين 1-3 نانومتر، وبالتالي فإن مراقبة الأنسجة بالمجهر المعدني تنتمي إلى تحليل مستوى الميكرون، وتنتمي مراقبة الأنسجة بالمجهر الإلكتروني الماسح إلى مستوى النانومتر تحليل.
رابعًا، يختلف عمق المجال: يتراوح عمق المجال بالمجهر المعدني العام بين 2-3um، وبالتالي فإن نعومة سطح العينة لها درجة عالية جدًا من المتطلبات، لذا فإن عملية أخذ العينات الخاصة بها معقدة نسبيًا. في حين أن المجهر الإلكتروني الماسح لديه عمق كبير في المجال، فإن مجال الرؤية الكبير، والتصوير الغني بالمعنى ثلاثي الأبعاد، يمكن أن يلاحظ مباشرة مجموعة متنوعة من العينات ذات البنية المجهرية السطحية غير المستوية.
