بالمقارنة مع المجاهر الضوئية التقليدية والمجاهر الإلكترونية ، ما هي العوامل التي تحد من القدرة التحليلية لمجاهر القوة الذرية؟
إن قوة حل المجاهر الضوئية التقليدية محدودة بحد الانعراج للضوء ، ومسافة الحل الدنيا لها هي نصف طول موجة الضوء. إن قوة حل المجهر الإلكتروني محدودة أيضًا بحد الانعراج ، وقوة حله الدنيا هي نصف الطول الموجي للإلكترون دي برولي ، لذلك يمكن للميكروسكوب الإلكتروني تحقيق قوة حل أعلى من المجهر الضوئي التقليدي.
تعتمد قوة التحليل لمجهر القوة الذرية بشكل أساسي على: حجم طرف المجس ؛ المعامل المرن للكابول الصغير ، كلما انخفض معامل المرونة ، زادت حساسية مجهر القوة الذرية ؛ نسبة طول الكابول إلى طول ضوء الليزر ؛ حساسية كاشف PSD لموضع البقعة. للحصول على صورة ذات دقة معينة ، كلما كان نطاق المسح أصغر ، كلما تم الحصول على تضاريس السطح بدقة.
