التحليل باستخدام المجهر الضوئي (OM)
المبادئ الفنية
مبدأ التصوير في المجهر الضوئي هو استخدام الضوء المرئي لإضاءة سطح قطعة الاختبار لإحداث تشتت أو انعكاس محلي لتشكيل تباينات مختلفة. ومع ذلك، نظرًا لأن الطول الموجي للضوء المرئي يصل إلى {{0}} أنجستروم، فإن دقة النظام (أو معدل التمييز، طاقة الدقة) للنظام تشير إلى أقصر مسافة يمكن تمييز نقطتين عنها)، فمن الطبيعي أن يكون الأسوأ. في ظل التشغيل العادي، نظرًا لأن معدل التمييز للعين المجردة يبلغ 0.2 مم فقط، عندما تكون الدقة المثلى للمجهر الضوئي 0.2 ميكرومتر فقط، فإن الحد الأقصى للتكبير النظري هو 1000 فقط وهو أكبر نظام تصوير، مما يدل على أن الملاحظات باستخدام المجاهر الضوئية لا تزال توفر الكثير من المعلومات الهيكلية الأولية.
نوع الآلة
التطبيقات التحليلية
على الرغم من أن تكبير ودقة المجاهر الضوئية لا يمكن أن يفي باحتياجات المراقبة السطحية للعديد من المواد، إلا أنها لا تزال تستخدم على نطاق واسع في التطبيقات التالية، مثل:
مراقبة هيكل المقطع العرضي للمكونات؛
تحليل ومراقبة البنية المؤجلة المستوية؛
مراقبة المنطقة الحرة المترسبة؛
ملاحظة سوء المحاذاة والخدوش الزائدة (Overetch)؛
البحث عن أخطاء التراص المعززة للأكسدة (OSF)، وما إلى ذلك.
ما هو أقصى تكبير للمجهر الضوئي؟
يعتمد تكبير المجهر البصري بشكل أساسي على العدسة الشيئية لتكبير الجسم فعليًا، وتقوم العدسة بتكبير الصورة المكبرة بواسطة العدسة الشيئية بشكل ثانوي. يمكن للعدسة الشيئية للمجهر الضوئي أن تصل إلى 100 مرة فقط، ويمكن أن تصل العدسة العينية إلى 10 مرات فقط.
16 مرة
الحد الأقصى للعدسة هو 20x. لذلك، عندما تكون العدسة الشيئية 100 مرة والعدسة العينية 20 مرة، يمكن أن يصل التكبير الإجمالي إلى 2000 مرة. لكن 2000 مرة هي 2000 مرة عددية فقط، وليست تكبيرًا حقيقيًا 2000 مرة. على سبيل المثال، عندما تكون العدسة العينية 10x، تكون العدسة الشيئية 100x، ويكون التكبير الإجمالي 1000x، لأن العدسة الشيئية ذات التكبير الفعلي لا تزال 100x، ولكن يتم تغيير العدسة من 10x إلى 20x. يبدو 2000 مرة
1000 مرة، بفارق مرتين، لكنه في الحقيقة فرق 10 مرات فقط.
