مميزات المجهر الإلكتروني الماسح
1. عامل التكبير
نظرًا للحجم الثابت لشاشة الفلورسنت الخاصة بالمجهر الإلكتروني الماسح، يتم تحقيق التغيير في التكبير عن طريق تغيير سعة المسح لشعاع الإلكترون على سطح العينة.
إذا تم تقليل تيار ملف المسح، فسوف تنخفض سعة المسح لشعاع الإلكترون على العينة، وسيزداد عامل التضخيم. التعديل مريح للغاية، ويمكن تعديله بشكل مستمر من 20x إلى حوالي 200000 مرة.
2. القرار
الدقة هي مؤشر الأداء الرئيسي للمجهر الإلكتروني الماسح.
يتم تحديد الدقة من خلال قطر شعاع الإلكترون الساقط ونوع إشارة التعديل.
كلما كان قطر شعاع الإلكترون أصغر، كلما زادت الدقة.
تختلف الإشارات المادية المستخدمة في التصوير من حيث الدقة.
على سبيل المثال، تتمتع إلكترونات SE وBE بنطاقات انبعاث ودقة مختلفة على سطح العينة. تبلغ دقة SE عمومًا حوالي 5-10 نانومتر، في حين تبلغ دقة BE حوالي 50-200 نانومتر.
3. عمق الميدان
ويشير إلى نطاق قدرة العدسة على التركيز وتصوير أجزاء مختلفة من عينة غير متساوية في وقت واحد.
تستخدم العدسة النهائية للمجهر الإلكتروني الماسح فتحة زاوية صغيرة وطولًا بؤريًا طويلًا، بحيث يمكن الحصول على عمق مجال كبير. وهو أكبر 100-500 مرة من عمق مجال المجهر الضوئي العام وأكبر 10 مرات من عمق مجال المجهر الإلكتروني النافذ.
السمات البارزة لـ SEM هي عمق المجال الكبير والإحساس القوي ثلاثي الأبعاد والتشكل الواقعي.
تنقسم العينات المستخدمة في الفحص المجهري الإلكتروني إلى فئتين:
1 هي عينة ذات موصلية جيدة، والتي يمكن أن تحافظ بشكل عام على شكلها الأصلي ويمكن ملاحظتها تحت المجهر الإلكتروني بدون أو مع تنظيف بسيط؛
2 عبارة عن عينة غير موصلة، أو عينة تحتوي على فقدان الماء، أو إطلاق الغاز، أو تشوه الانكماش في الفراغ، والتي تحتاج إلى المعالجة بشكل صحيح قبل إجراء المراقبة.
